特許
J-GLOBAL ID：200903099864501453

薄膜弾性構造体及びその製造方法並びにこれを用いたミラーデバイス及び光スイッチ

発明者：
石津谷 徹

石津谷 徹 について

, 
赤川 圭一

赤川 圭一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-031615
公開番号（公開出願番号）：特開2003-005102
出願日： 2002年02月08日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：
【要約】【課題】 優れた光学特性を保ちながら、小型化及び量産性をより一層向上させる。【解決手段】 ミラーデバイスは、ミラー2と、ミラー2を基板1に対して基板1から浮いた状態にかつ任意の方向に傾動可能に弾性支持する支持機構とを備える。支持機構は、基板1とミラー2との間を機械的に接続する3つの支持部3A,3B,3Cを有する。各支持部3A,3B,3Cは、1層以上の薄膜で構成された1つ以上の板ばね部5を有する。板ばね部5の一端部は、基板1から立ち上がる立ち上がり部を持つ脚部9を介して基板1に接続される。板ばね部5の他端部は、当該他端部から立ち上がる立ち上がり部を持つ接続部を介して、ミラー2に機械的に接続される。ミラー2は、各3A,3B,3Cの板ばね部5を介してのみ、基板1に対して支持される。
請求項（抜粋）：
基体と、ミラーと、該ミラーを前記基体に対して前記基体から浮いた状態にかつ任意の方向に傾動可能に弾性支持する支持機構とを備え、供給される駆動信号に応じた方向及び傾き量で前記ミラーが前記基体に対して傾くミラーデバイスであって、前記支持機構は、前記基体と前記ミラーとの間を機械的に接続する1つ以上の支持部を有し、前記各支持部は、1層以上の薄膜で構成された1つ以上の板ばね部を有し、前記各支持部の前記1つ以上の板ばね部のうちの少なくとも1つの板ばね部の一端部は、前記基体から立ち上がる立ち上がり部を持つ脚部を介して前記基体に機械的に接続され、前記ミラーは、前記各支持部の前記1つ以上の板ばね部を介してのみ、前記基体に対して支持されたことを特徴とするミラーデバイス。
IPC (3件)：
G02B 26/08 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00
FI (3件)：
G02B 26/08 E ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00
Fターム (6件)：
2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ03 ,  2H041AZ08
引用特許：
審査官引用 (4件)
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