特許
J-GLOBAL ID：200903099867181069
マイクロ構造体およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
小林 久夫
, 佐々木 宗治
, 木村 三朗
, 大村 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-073545
公開番号（公開出願番号）：特開2004-276200
出願日： 2003年03月18日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：
【課題】櫛歯状の固定電極と可動電極の上下に発生する電界の不均一な分布を極力低減するように構成することにより、所望の振動周波数特性を安定して得ることができるマイクロ構造体およびその製造方法を提供する。【解決手段】シリコン基板50上に設けられ、少なくとも1組の櫛歯状の固定電極22、32と櫛歯状の可動電極24、34の櫛歯同士を噛み合わせて平面的に振動させるマイクロ構造体10において、前記固定電極24、34と可動電極24、34の下方における前記シリコン基板50に実質的に空間となる部分53を設ける。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
シリコン基板上に設けられ、少なくとも1組の櫛歯状の固定電極と櫛歯状の可動電極の櫛歯同士を噛み合わせて平面的に振動させるマイクロ構造体において、
前記固定電極と可動電極の下方における前記シリコン基板に実質的に空間となる部分を設けたことを特徴とするマイクロ構造体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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