特許
J-GLOBAL ID：200903099901195945
スルホン酸エステル化合物およびその用途
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-290093
公開番号（公開出願番号）：特開平10-147572
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】 酸の作用により開裂しうる保護基を有し、開裂後にアルカリ可溶性となる樹脂を含有するレジストの酸発生剤として用いた場合に、優れた効果を発揮する化合物を提供し、これを用いて諸性能に優れるレジスト組成物を提供する。【解決手段】 式(I)で示されるスルホン酸エステル化合物。式中、R1 は、それぞれ置換されていてもよいアルキレン、アルケニレンまたは環状炭化水素の2価残基を表し、R2 は置換されていてもよいシクロアルキルを表し、nは0〜6の整数を表すが、ただし、-(CH2)n-R2 がショウノウ残基であることはない。式(I)の化合物を酸発生剤として用い、酸の作用により開裂しうる保護基を有し、開裂後はアルカリ可溶性となる樹脂と配合して、ポジ型レジスト組成物が得られる。
請求項（抜粋）：
式(I)(式中、R1 は置換されていてもよいアルキレン、置換されていてもよいアルケニレンまたは置換されていてもよい環状炭化水素の2価残基を表し、R2 は置換されていてもよいシクロアルキルを表し、nは0〜6の整数を表すが、ただし、-(CH2)n-R2 がショウノウ残基であることはない)で示されるスルホン酸エステル化合物。
IPC (6件)：
C07D207/46
, C07D209/48
, C07D211/88
, C07D221/14
, G03F 7/004 503
, G03F 7/039 601
C07D207/46
, C07D211/88
, C07D221/14
, G03F 7/004 503 A
, G03F 7/039 601
, C07D209/48 Z
