特許
J-GLOBAL ID：200903042896435540
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-052637
公開番号（公開出願番号）：特開平9-222724
出願日： 1996年02月16日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：
【要約】【課題】 定在波の影響が少なく、フォーカス許容性に優れ、且つ感度、解像度、パターン形状、プロセス許容性等を含めた特性バランスに優れた化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 組成物は、(A)酸により分解しうるアセタール基、酸により分解しうるケタール基および酸により分解しうるt-ブチル基をもつ置換基の群から選ばれる官能基を有する重合体、(B)感放射線性酸発生剤並びに(C)フェノール性水酸基、アルコール性水酸基およびエチレンオキサイド鎖の群から選ばれる官能基を有する分子量1,000以下の化合物を含有する。
請求項（抜粋）：
(A)酸により分解しうるアセタール基、酸により分解しうるケタール基および酸により分解しうるt-ブチル基をもつ置換基の群から選ばれる少なくとも1種の基を有する重合体、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)フェノール性水酸基、アルコール性水酸基およびエチレンオキサイド鎖の群から選ばれる少なくとも1種の官能基を有する分子量1,000以下の化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/039 501
, H01L 21/027
G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/039 501
, H01L 21/30 502 R
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (17件)
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