狭小で大アスペクト比のコイルライン付きマイクロコイルの製造

NODA Daiji; HATTORI Tadashi

文献

J-GLOBAL ID：201002202437162810 整理番号：10A0847455

狭小で大アスペクト比のコイルライン付きマイクロコイルの製造

Fabrication of Microcoils with Narrow and High Aspect Ratio Coil Line

出版者サイト {{ this.onShowPLink() }} 複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=10A0847455&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=10A0847455&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=T0339A") }}

著者 (2件)： ,
資料名：
巻： 24 号： 10 ページ： 1461-1470 発行年： 2010年
JST資料番号： T0339A ISSN： 0169-1864 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

精密機械やロボットの部品やデバイスの小型化に対処して,マイクロアクチュエータの需要が増している。筆者らは,低電圧駆動,高出力,高効率で低コストの電磁アクチュエータの研究開発を行なっていて,本文では,上記アクチュエータに用いる狭小で大アスペクト比のコイルライン付きマイクロコイルの製造について言及している。本マイクロコイルは3D X線リソグラフィー技術を用いアクリル管表面に高アスペクト比のスパイラル溝をマイクロマシニングし,製造している。これらの全容は,電磁マイクロアクチュエータの設計,マイクロマシニング(X線リソグラフィー技術,金属被覆技術,等方性銅エッチング),吸引力の計測,マイクロコイルの開発の順で報告している。マイクロマシニングによる本コイルの最小スバイラル溝の幅は10μmで,アスペクト比は5である。

, , , , , , ,

LCR部品 , ロボットの設計・製造・構造要素 , 固体デバイス製造技術一般

引用文献 (11件)：

BECKER, E. W. Fabrication of microstructures with high aspect ratios and great structural heights by synchrotron radiation lithography, galvanoforming, and plastic moulding. Microelectron. Eng. 1986, 4, 35-56
BISCHOFBERGER, R. Low-cost MARMS process. Sensors Actuators A. 1997, 61, 392-399
HIRATA, Y. LIGA process-micromachining technique using synchrotron radiation lithography-and some industrial applications. Nucl. Instrum. Methods B. 2003, 208, 21-26
MEKARU, H. Development of three-dimensional LIGA process to fabricate spiral microcoil. Jpn. J. Appl. Phys. 2005, 44, 5749-5754
MALEK, C. K. Applications of LIGA technology to precision manufacturing of high-aspect-ratio micro-components and-systems. Microelectron. J. 2004, 35, 131-143

前のページに戻る