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J-GLOBAL ID：201002213069901014   整理番号：10A0260168

薄膜のフェムト秒レーザアブレーションにおけるナノ構造化表面の形成

Shaping of nanostructured surface in femtosecond laser ablation of thin films

著者 (2件)： MIYAJI Godai (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  MIYAZAKI Kenzo (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 98  号： 4  ページ： 927-930  発行年： 2010年03月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ構造化モデルに基づいて,ナノ構造化表面の成形を表面の局所場分布を変えることによって行うことが期待できる。本論では,ダイヤモンド状炭素膜(DLC)のナノ構造化表面を傾斜させて,斜め入射フェムト秒(fs)レーザパルスにより鋸歯状形状を形成できることを報告した。傾斜面はp偏光fsレーザパルスにて形成し,その形状はパルス数とフルエンスによって敏感に修正される。結果は,傾斜面がターゲット面に生成する不均一局所場分布によって確実に形成することを示した。

シソーラス用語： *薄膜 ,  パルスレーザ ,  *レーザアブレーション ,  *ナノ構造 ,  *表面 ,  分布 ,  DLC膜 ,  傾斜 ,  斜め入射波 ,  レーザパルス ,  鋸波 ,  偏光 ,  不均一性 ,  局所性 ,  フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： 鋸歯状波

分類 (3件)： 薄膜一般  (BK14010X) ,  固体の表面構造一般  (BK15010E) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (3件)： 薄膜 ,  フェムト秒レーザアブレーション ,  ナノ構造