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J-GLOBAL ID：201002247389128439   整理番号：10A0490992

超大規模アレイテストパターンによるランダム電信信号の数百の時定数比と振幅の分析

Analysis of Hundreds of Time Constant Ratios and Amplitudes of Random Telegraph Signal with Very Large Scale Array Test Pattern

著者 (7件)： FUJISAWA Takafumi (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ABE Kenichi (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  WATABE Shunichi (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MIYAMOTO Naoto (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  TERAMOTO Akinobu (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SUGAWA Shigetoshi (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  OHMI Tadahiro (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49  号： 4,Issue 2  ページ： 04DC06.1-04DC06.4  発行年： 2010年04月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ランダム電信信号(RTS)雑音はドレイン電流または閾値電圧において二つ以上の状態の離散的と確率的スイッチングを示す。シリコン-ゲート絶縁膜界面近くの個々の捕獲中心のキャリアの捕獲と放出はRTS雑音現象を引き起こす。RTS雑音はアナログ素子と他の素子において重要問題になった。RTS雑音を抑制するために,捕獲中心のエネルギー準位を決定する必要がある。時定数比率は,ゲート絶縁膜中の捕獲中心のエネルギー準位と強い関係を持っている。本論では,大規模アレイ試験パターンによる多数のRTSデータセットを抽出し,時定数比率と振幅のゲートバイアス電圧依存性を評価した。捕獲中心のエネルギー準位が少なくとも0.1~1.0μAのドレイン電流で均一に分布していることを実証した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： アレイ ,  試験 ,  テストパターン ,  ランダム信号 ,  時定数 ,  振幅 ,  *雑音 ,  電流 ,  電圧 ,  スイッチング ,  ケイ素 ,  ゲート【半導体】 ,  界面 ,  *捕獲中心 ,  キャリア捕獲 ,  粒子放出 ,  絶縁膜 ,  アナログ回路 ,  エネルギー準位 ,  集合 ,  電圧依存性
準シソーラス用語： キャリア放出 ,  データセット ,  ドレイン電流 ,  バイアス電圧 ,  閾値電圧

分類 (2件)： 半導体の格子欠陥  (BK12040Q) ,  雑音一般  (ND04010J)

引用文献 (9件)：

• T. Ohmi, M. Hirayama, and A. Teramoto: J. Phys. D 39(2006) R1.
• M. J. Kirton and M. J. Uren: Adv. Phys.38(1989)367.
• X. Wang, P. R. Rao, A. Mierop, and A. J. P. Theuwissen: IEDM Tech, Dig., 2006, p. 115.
• H. Kurata, K. Otsuga, A. Kotabe, S. Kajiyama, T. Osabe, Y. Sasago, S. Narumi, K. Tokami, S. Kamohara, and O. Tsuchiya: IEEE J. Solid-State Circuits 42(2007)1362.
• S. Watabe, S. Sugawa, A. Teramoto, and T. Ohmi: Jpn. J. Appl. Phys.46(2007)2054.

タイトルに関連する用語 (7件)： 大規模 ,  アレイ ,  テストパターン ,  電信 ,  時定数 ,  振幅 ,  分析