文献

J-GLOBAL ID：201002249802855630   整理番号：10A0361402

RFプラズマCVD法により作製したDLC薄膜の熱電性能評価

Evaluation of Thermoelectric Performance of Diamond Like Carbon Thin Films Prepared by RF Plasma CVD

著者 (3件)： 中村雅史 (茨城大 工) ,  原口忠男 (茨城大 工) ,  内山賢 (茨城大 大学院理工学研究科)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 61  号： 4  ページ： 325-329  発行年： 2010年04月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： DLC薄膜の優しい熱電材料としての可能性を調べるためにRFプラズマズマCVD法を用いてSiドープDLC薄膜を作製した。薄膜のSeebeck係数,電気抵抗率および熱伝導率を評価した。作製したDLC薄膜はP型半導体であり,Seebeck係数の値は従来の熱電材料であるZnAlOあるいはBiTeの値と比較して1/5~1/100程度であった。Siドープの有無によるSeebeck係数の差はほとんどなかった。DLC薄膜の電気抵抗率は温度上昇とともに指数関数的に減少した。従来の熱電材料と比較すると電気抵抗率の値は10⁵~10¹⁰倍と非常に大きかった。DLC薄膜の熱電材料としての性能の向上のためには,特に電気抵抗率をより小さくするための薄膜の組成および成膜方法を検討する必要がある。

シソーラス用語： *DLC膜 ,  ケイ素化合物 ,  ドーピング ,  P型半導体 ,  プラズマCVD ,  *輸送係数 ,  熱起電力 ,  *電気抵抗率 ,  熱伝導率 ,  性能指数 ,  *Seebeck係数

分類 (3件)： 非晶質・液体半導体の電気伝導  (BM03042G) ,  半導体薄膜  (BK14040E) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

引用文献 (24件)：

• 1) M. Ikenaga ; DLC Seimaku Gijutsu, p.3 (Nikkan Kougyo Shinbun, Ltd., 2007).
• 2) M. Rusop, X. M. Tian, T. Kinugawa, T. Soga, T. Jimbo, M. Umeno ; Applied Surface Science, 252, 1693 (2005).
• 3) A. P. Mousinho, R. D Mansano ; Applied Surface Science, 254, 189 (2007).
• 4) J. Takahashi, T. Hando, H. Kinoshita ; Technical report of IEICE. SDM, 96 (344), p.73 (IEICE, 1996).
• 5) S. M. Mominuzzaman, H. Ebisu, T. Soga, T. Jimbo, M. Umeno ; Diamond and Related Materials, 10, 984 (2001).

タイトルに関連する用語 (5件)： RFプラズマ ,  CVD法 ,  作製 ,  DLC薄膜 ,  性能評価