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J-GLOBAL ID：201002287223535720   整理番号：10A0557348

ナノピラーチップ中での電気浸透流の解析

著者 (13件)： 安井隆雄 (名大 院) ,  加地範匡 (名大 院) ,  加地範匡 (名大 予防医療セ) ,  岡本行広 (名大 院) ,  岡本行広 (名大 予防医療セ) ,  渡慶次学 (名大 院) ,  渡慶次学 (名大 予防医療セ) ,  堀池靖浩 (物質・材料研究機構) ,  馬場嘉信 (名大 院) ,  馬場嘉信 (名大 予防医療セ) ,  馬場嘉信 (名大 プラズマ研セ) ,  馬場嘉信 (産総研 健康工学研セ) ,  馬場嘉信 (岡崎国立共同研究機構 分子科研)
資料名： 化学とマイクロ・ナノシステム研究会講演要旨集  (化学とマイクロ・ナノシステム研究会講演予稿集)
巻： 19th  ページ： 23  発行年： 2009年05月28日 
JST資料番号： L4117A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ナノ構造 ,  *チップ ,  *浸透流 ,  *電気浸透 ,  *微細加工 ,  チャネル ,  電子ビームリソグラフィー ,  フォトリソグラフィー ,  プラズマエッチング ,  緩衝液 ,  電場効果 ,  マイクロチャネル ,  *ナノピラー ,  *マイクロチップ ,  *電気浸透流

分類 (4件)： 不均質流  (BC02060J) ,  界面化学一般  (CB12010J) ,  電気化学一般  (CB07010N) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： ナノピラー ,  電気浸透流 ,  解析