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J-GLOBAL ID：201002289220879413   整理番号：10A0565085

界面活性剤付加水酸化テトラメチルアンモニウムに基づくシリコンマイクロマシニング:エッチング機構と先端応用

Silicon Micromachining Based on Surfactant-Added Tetramethyl Ammonium Hydroxide: Etching Mechanism and Advanced Applications

著者 (3件)： PAL Prem (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  GOSALVEZ Miguel A. (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  SATO Kazuo (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49  号： 5,Issue 1  ページ： 056702.1-056702.9  発行年： 2010年05月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微小電気機械システム(MEMS)の作製を目指したシリコンマイクロマシン応用に使用される典型的なアルカリ性エッチング液(例えば,水酸化テトラメチルアンモニウム,TMAH)に微量の界面活性剤(例えば,トリトンX-100)を付加した場合に誘起される腐食プロフィルおよび腐食率の巨視的変化に潜むメカニズムについて研究した。TMAHの界面付加の技術的重要性を強調するために,純TMAHと表面活性剤付加TMAHにおけるウエット異方的エッチングの低費用の組み合わせを用いて,Si(100)上の新しい固定および自立型構造を実現するための新規作製法に対する総括を行った。固定構造には完全鋭利エッジ構造,およびスムーズな被腐食表面終端構造が含まれる。自立構造用材料として熱堆積酸化物を用いた。終端構造はポリ(ジメチルシロセン)(PDMS)を用いた新しい構造形状の実現用の鋳型として有用である。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,  *エッチング ,  MEMS ,  ウエハ【IC】 ,  ケイ素 ,  ポリジメチルシロキサン ,  エッチング液 ,  *界面活性剤 ,  化学吸着 ,  シリコンウエハ

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： 水酸化テトラメチルアンモニウム

引用文献 (34件)：

• J. S. Jeon, S. Raghavan, and J. P. Carrejo: J. Electrochem. Soc.143(1996)277.
• M. Sekimura: Proc.12th IEEE Microelectromechanical Systems Conf., 1999, p. 650.
• P. M. Sarro, D. Brida, W. van der Vlist, and S. Brida: Sens. Actuators A 85(2000)340.
• C. R. Yang, C. H. Yang, and P. Y. Chen: J. Micromech. Microeng.15(2005)2028.
• D. Resnik, D. Vrtacnik, U. Aljancic, M. Mozek, and S. Amon: J. Micromech. Microeng.15(2005)1174.

タイトルに関連する用語 (6件)： 界面活性剤 ,  水酸化テトラメチルアンモニウム ,  シリコン ,  マイクロマシニング ,  エッチング ,  応用