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J-GLOBAL ID：201002289397991493   整理番号：10A0456335

圧力微分計を用いた空気ばね式除振台の外乱補償制御

Disturbance Compensation of Pneumatic Isolation Table Using Pressure Differentiator

著者 (6件)： 川嶋健嗣 (東京工大 精密工研) ,  加藤友規 (東京都産業技高専) ,  KIM Eunkyeong (東京工大 大学院総合理工学研究科) ,  新井豪 (東京工大 大学院総合理工学研究科) ,  只野耕太郎 (東京工大 精密工研) ,  香川利春 (東京工大 精密工研)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 76  号： 764  ページ： 861-868  発行年： 2010年04月25日 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 空気ばね式除振台の台上装置の運動により生じる振動を低減するために,著者らが開発した圧力微分計を用いた新しい制御手法を提案した。提案手法は,空気ばね内の微小な圧力変動を圧力微分計で測定し,その値をポジティブフィードバックすることで,ノズルフラッパ型サーボ弁の応答性を向上させ,外乱補償効果を高めるものである。提案手法の有効性を,4つの空気ばねで4点支持の除振台と台上の1自由度運動を行う空気圧サーボテーブルを用いた実験装置で確認した。さらに,提案手法を従来の圧力制御系の応答性向上手法である圧力のPI制御,台上装置の運動を補償するフィードフォワード制御と比較し,提案手法はロバスト性が高く,設計が容易で適用性に優れていることを示した。(著者抄録)

シソーラス用語： *防振装置 ,  空気ばね ,  制御方式 ,  圧力制御 ,  圧力制御弁 ,  *補償
準シソーラス用語： *外乱補償

分類 (1件)： 振動伝搬  (BB02040K)

引用文献 (8件)：

• YASUDA, M. Active Microvibration Control Using Air Actuators. Journal of the Japan Hydraulics & Pneumatics Society. 2000, 31-5, 376-381
• WAKUI, S. A Lowering Method of Natural Frequency for an Air Type Active Anti-Vibration Apparatus. Journal of the Japan Society for Precision Engineering, Supplement, Contributed papers. 2004, 70, 11, 1444-1448
• WAKUI, S. Incline Compensation control using an air-spring type active isolated apparatus. Precision Engineering. 2003, 27, 170-174
• TAKAHASHI, M. Improvement of Compensation for Accelerometer and High Bandwidth for Isolation Device. Journal of the Japan Society for Precision Engineering. 2009, 75, 7, 853-858
• KATO, T. Proposal of Pressure Differentiator Applying the Principle of Isothermal Chamber. Journal of the Japan Society of Instrument and Control Engineers. 2004, 40, 6, 642-647

タイトルに関連する用語 (5件)： 微分 ,  空気ばね ,  除振台 ,  外乱 ,  補償