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J-GLOBAL ID：201002294285649249   整理番号：10A0387955

マルチレートフィードフォワード制御に基づいた完全追従制御法を用いた大規模作業台の高速,高精度追従制御

A Study on High-Speed and High-Precision Tracking Control of Large-Scale Stage Using Perfect Tracking Control Method Based on Multirate Feedforward Control

著者 (4件)： SAIKI Kazuaki (Nikon Corp., Yokohama, JPN) ,  HARA Atsushi (Nikon Corp., Yokohama, JPN) ,  SAKATA Koichi (Yokohama National Univ., Yokohama, JPN) ,  FUJIMOTO Hiroshi (Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
資料名： IEEE Transactions on Industrial Electronics  (IEEE Transactions on Industrial Electronics)
巻： 57  号： 4  ページ： 1393-1400  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： C0234A  ISSN： 0278-0046  CODEN： ITIED6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 作業台は製造における位置決め装置や計測プロセスに広く使用されている。そのような作業台は生産効率改善のために高速,高精度が求められる。ハードディスク制御では完全追従制御(PTC)法がすでに高性能を達成している。そこで大規模作業台について研究した。大規模作業台では低周波振動モードを持っているので,広帯域帰還制御装置は使用できない。従って,一般に2自由度制御システムが一般に要求され,フィードフォワード制御装置の助けを借りた高性能が要求される。同じ帰還制御装置を用いて,本方式と従来方式で実験した。従って,フィードフォワード制御のみが比較されている。実際のディジタル制御装置に追加されるサンプルホルダが考慮され,離散化プラントモデルが与えられた。シミュレーションと実験により,本方式は従来方式より性能が良いことが分かった。

シソーラス用語： *伝送速度 ,  *フィードフォワード制御 ,  追従制御 ,  作業台 ,  *位置決め ,  高速度 ,  精度 ,  フィードバック制御 ,  自由度 ,  ディジタル制御 ,  高精度
準シソーラス用語： マルチレート ,  帰還制御 ,  高速

分類 (2件)： ロボットの運動・制御  (IC04012J) ,  サーボ機構  (IC03030Q)

タイトルに関連する用語 (6件)： マルチレート ,  フィードフォワード制御 ,  完全追従制御 ,  大規模 ,  作業台 ,  追従制御