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J-GLOBAL ID：201002295761567635   整理番号：10A0490932

ハイブリッド膜堆積のための短絡形成アーク放電を用いたチタン含有炭素プラズマの生成

Production of Titanium-Containing Carbon Plasma Using Shunting Arc Discharge for Hybrid Film Deposition

著者 (5件)： TAKAKI Koichi (Iwate Univ., Morioka, JPN) ,  MURAKAMI Takayuki (Iwate Univ., Morioka, JPN) ,  MUKAIGAWA Seiji (Iwate Univ., Morioka, JPN) ,  FUJIWARA Tamiya (Iwate Univ., Morioka, JPN) ,  YUKIMURA Ken (Doshisha Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49  号： 4,Issue 1  ページ： 046001.1-046001.5  発行年： 2010年04月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： チタン含有炭素プラズマ生成して炭素ベースハイブリッド膜を堆積するためにチタン陰極により炭素短絡形成アーク放電を発生させた。炭素短絡形成アーク放電を生成するために直径2mmそして長さ40mmの炭素ロッドを用いた。シリコン基板をプラズマ中に浸漬して,短絡形成アーク放電発火と同期化して基板ホルダーに一連の負パルス電圧を印加した。ホルダー材料の粒子を炭素短絡形成アークプラズマ中に供給するために陰極側のロッドホルダー材料を炭素からチタンに変えた。両方のロッドホルダー材料に対して短絡形成アークプラズマを生成することに成功した。陰極側ホルダー材料としてチタンを用いて短絡形成アークを発生させるための加熱エネルギーを減少させた。プラズマ光放出からの分光学的測定は,陰極材料としてチタンを採用するとき生成されるプラズマがチタンイオンを含むことを示した。生成されたプラズマに含まれるイオンを-3.0kVの負パルス電圧で抽出した。チタン陰極でのイオン電流は炭素陰極のそれより大きな値だった。X線光電子分光法は,調製された炭素膜がチタンを含み,200μFキャパシターの1200V帯電電圧で0.099のTi/C比をもつこを示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *アーク放電 ,  *電極 ,  棒 ,  *炭素 ,  発光 ,  *プラズマ ,  X線光電子スペクトル ,  プラズマCVD
準シソーラス用語： *チタン電極 ,  ハイブリッド ,  プラズマ発光 ,  ロッド ,  炭素ロッド ,  *放電プラズマ

分類 (1件)： プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

引用文献 (38件)：

• K. Yukimura, R. Isono, T. Monguchi, K. Yoshioka, and S. Masamune: J. Vac. Sci, Technol. B 17(1999)871.
• K. Yukimura and Y. Tani: Surf. Coat. Technol.142-144(2001)388.
• S. A. Bordzilovskii, S. M. Karakhanov, and V. V. Polyudov: Soy. Phys. Tech. Phys.18(1974)1251.
• S. M. Karakhanov and V. V. Polyudov: Soy. Phys. Tech. Phys.16(1972)1125.
• K. Takaki, O. Kumagai, S. Mukaigawa, T. Fujiwara, M. Kumagai, and K. Yukimura: IEEE Trans. Plasma Sci.34(2006)1209.

タイトルに関連する用語 (7件)： ハイブリッド膜 ,  堆積 ,  短絡形成 ,  アーク放電 ,  チタン ,  炭素 ,  プラズマ