酸化ニッケルスパッタ膜の多孔性評価と NO<sub>2</sub> 検出特性

米澤正隆; 山崎登志成; 喜久田寿郎

文献

J-GLOBAL ID：201002296552301802 整理番号：10A0533487

酸化ニッケルスパッタ膜の多孔性評価と NO₂ 検出特性

Porosity Assessment of NiO Sputtered Film and NO₂ Sensing Property

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巻： 53 号： 3 ページ： 226-229 (J-STAGE) 発行年： 2010年
JST資料番号： G0194A ISSN： 1882-2398 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

放電ガス圧力を替えて作製したNiOスパッター薄膜の構造とNO₂に対するガス検出特性を検討した。X線回折,走査型電子顕微鏡法,そして密度および表面積測定を用いて膜の構造を調べた。得られたNiO膜はおおむね柱上構造を示した。放電ガス圧力0.6Paの低圧では比較的緻密であるが,放電ガス圧力が高くなるにつれて結晶粒間に隙間が生じた。400°Cで熱処理すると1.2Pa以下の低圧であられて比較的緻密な膜ではNiO結晶粒の体積収縮により結晶粒間に隙間が生じ,表面積が増大した。膜密度が低くなるにつれてセンサー感度は高くなった。乾燥空気中における1ppmの濃度でNO₂に対するアニールした膜の感度も調べた。12Paで堆積した最低密度をもつ膜から作製したセンサーに対して最高の感度(3.0)が得られた。

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酸化物薄膜 , 分析機器

引用文献 (11件)：

1) I. Hotovy, V. Rehacek, P. Siciliano, S. Capone and L. Spiess: Thin Solid Films, 418 (2002) 9.
2) I. Hotovy, J. Liday, J. Huran, S. Hascik, L. Spiess and H. Sitter: Vacuum, 69 (2002) 237.
3) I. Hotovy, J. Huran, P. Siciliano, S. Capone and L. Spiess: Sensors and Actuators B, 78 (2001) 126.
4) I. Hotovy, J. Huran, L. Spiess, R. Capkovic and S. Hascik: Vacuum, 58 (2000) 300.
5) I. Hotovy, J. Huran, P. Siciliano, S. Capone, L. Spiess and V. Rehacek: Sensors and Actuators B, 103 (2004) 300.

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酸化ニッケルスパッタ膜の多孔性評価と NO2 検出特性

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