形状測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：本庄武男 , 今村文典
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-024453
公開番号（公開出願番号）：特開2010-181249
出願日： 2009年02月05日
公開日（公表日）： 2010年08月19日
要約：

【課題】半導体ウェーハなどの円盤状の測定対象物の端部の撮像画像に基づいて,その端部における面取り加工された端面以外の表面が鏡面であるか非鏡面であるかに関わらず,その面取り加工された端面の幅を測定でき,さらに,その測定を表裏各面それぞれの側について同時に行うことができること。【解決手段】測定対象物1の端部に対しその測定対象物の表裏各面に平行な方向Rbから光束を投光する第1投光部10と,これにより光が照射された端部をその測定対象物1の表裏各面側におけるその表面に直角の方向Raから撮像する2つのカメラ30a,30bと,その撮像画像における明部の像の幅を面取り加工された端面の幅として検出する画像処理装置40とを備える。また,前記方向Raから平行光を投光する2つの第2投光部20a,20bによる投光時には,画像処理装置40は,撮像画像における暗部の像の幅を面取り加工された端面の幅として検出する。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

円盤状の測定対象物をその表面に直角の方向から見たときの該測定対象物の端部における面取り加工された端面の幅を測定する形状測定装置であって, 前記測定対象物の端部に対し該測定対象物の表裏各面に平行な方向から光束を投光する第1の投光手段と, 前記第1の投光手段により光が照射された前記測定対象物の端部を該測定対象物の表面に直角の方向から撮像する撮像手段と, 前記撮像手段による撮像画像における明部の像の幅を前記面取り加工された端面の幅として検出する第1の端面幅検出手段と, を具備してなることを特徴とする形状測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/02

FI (1件)：

G01B11/02 H

Fターム (25件)：

2F065AA12 , 2F065AA22 , 2F065BB03 , 2F065BB25 , 2F065CC03 , 2F065CC19 , 2F065FF04 , 2F065FF17 , 2F065FF41 , 2F065FF66 , 2F065GG02 , 2F065GG07 , 2F065GG12 , 2F065HH03 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL12 , 2F065LL28 , 2F065LL30 , 2F065LL49 , 2F065MM04 , 2F065PP13 , 2F065QQ31

引用特許：

審査官引用 (4件)

ウエハの形状認識装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-216139 出願人：東芝セラミックス株式会社
ディスク外周部検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-140837 出願人：株式会社神戸製鋼所
表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-184155 出願人：株式会社ニコン

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