特許
J-GLOBAL ID：200903073269364753
表面検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安瀬 正敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-184155
公開番号（公開出願番号）：特開2008-014697
出願日： 2006年07月04日
公開日（公表日）： 2008年01月24日
要約：
【課題】、装置が大掛かりにならず、エッジ部分の詳細な観察が出来る上に、エッジ部分に生じた微細な欠陥の発見が容易な表面検査装置を提供すること。【解決手段】被検物体(半導体ウエハ10)のエッジ部分11に光を照射して該エッジ部分11を観察する表面検査装置で、前記被検物体10のエッジ部分11に、該エッジ部11の接線方向と垂直な方向(法線方向)の第1の方向の光と該第1の方向の光に対して傾斜する第2の方向の光とを照射する光照射部(拡散照明部材20)を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被検物体のエッジ部分に光を照射して該エッジ部分を観察する表面検査装置であって、
前記被検物体のエッジ部分に、該エッジ部の接線方向と垂直な第1の方向の光と、該第1の方向に対して傾斜する第2の方向の光とを照射する光照射部と、
前記エッジ部を有する面と交差する方向から観察する観察部と、
を備えたことを特徴とする表面検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/30 A
, G01N21/956 A
2F065AA12
, 2F065AA49
, 2F065BB03
, 2F065CC19
, 2F065FF04
, 2F065FF42
, 2F065GG02
, 2F065GG03
, 2F065GG16
, 2F065HH02
, 2F065HH14
, 2F065LL49
, 2F065MM04
, 2F065PP13
, 2G051AA51
, 2G051AB02
, 2G051BA01
, 2G051BA08
, 2G051BB11
, 2G051BB20
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051DA08
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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