特許
J-GLOBAL ID:201003002048300579
改良された電力用スイッチングトランジスター
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
野河 信太郎
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-512201
公開番号(公開出願番号):特表2010-530616
出願日: 2008年06月13日
公開日(公表日): 2010年09月09日
要約:
実施例によれば、半導体集積デバイスが、ソースとこのソースの各々の側部に配置されたゲートを有する第1の垂直接合電界効果トランジスター(Vertical Junction Field Effect Transistor: VJFET)と、ソースとこのソースの各々の側部に配置されたゲートを有する第2の垂直接合電界効果トランジスターを含む。第1の垂直接合電界効果トランジスター(VJFET)の少なくとも1つのゲートは、第2のVJFETの少なくとも1つのゲートから、チャンネルにより分離される。半導体集積デバイスは、更に、第1と第2のVJFETの間に配置された接合バリアーショトキー(Junction Barrier Schottky:JBS)ダイオードを含む。このJBSダイオードは、このチャンネルに対する整流コンタクトを構成し、かつ、第1と第2のVJFETの少なくとも1つのゲートに対する非整流コンタクトを構成する金属コンタクトを備え、この金属コンタクトが、このJBSダイオードのアノードである。第1の電気接続手段が、第1のVJFETのゲート、第2のVJFETのゲート、及び、JBSダイオードのアノードを、共通ゲート電極に連結し、及び、第2の電気接続手段が、第1のVJFETのソースと第2のVJFETのソースを、共通ソース電極に連結する。
請求項(抜粋):
ソースとソースの各々の側部に配置されたゲートとを備える第1の垂直接合電界効果トランジスターと、
ソースとソースの各々の側部に配置されたゲートとを備える第2の垂直接合電界効果トランジスターと、
第1及び第2の垂直接合電界効果トランジスターの間に配置された接合バリアーショトキーダイオードと、
を備え、
第1の垂直接合電界効果トランジスターの少なくとも1つのゲートは、第2の垂直接合電界効果トランジスターの少なくとも1つのゲートから、チャンネルにより分離され、
前記接合バリアーショトキーダイオードは、前記チャンネルに対する整流コンタクトを構成し、かつ、第1及び第2の垂直接合電界効果トランジスターの少なくとも1つのゲートに対する非整流コンタクトを構成する金属コンタクトを備え、
前記金属コンタクトは、前記接合バリアーショトキーダイオードのアノードであり、
さらに、第1の垂直接合電界効果トランジスターのゲートと第2の垂直接合電界効果トランジスターのゲートと前記接合バリアーショトキーダイオードのアノードとを共通ゲート電極に連結する第1の電気接続部と
第1の垂直接合電界効果トランジスターのソースと第2の垂直接合電界効果トランジスターのソースとを共通ソース電極に連結する第2の電気接続部と
を備えることを特徴とする半導体集積デバイス。
IPC (11件):
H01L 21/337
, H01L 29/808
, H01L 29/80
, H01L 29/78
, H01L 29/739
, H01L 29/12
, H01L 29/47
, H01L 29/872
, H01L 29/861
, H01L 21/823
, H01L 27/06
FI (10件):
H01L29/80 C
, H01L29/80 V
, H01L29/78 653C
, H01L29/78 655B
, H01L29/78 652J
, H01L29/78 652T
, H01L29/78 655C
, H01L29/48 D
, H01L29/91 K
, H01L27/06 F
Fターム (18件):
4M104AA03
, 4M104CC01
, 4M104CC03
, 4M104DD96
, 4M104FF02
, 4M104FF03
, 4M104GG03
, 4M104GG11
, 4M104GG13
, 5F102FA00
, 5F102GA14
, 5F102GB04
, 5F102GC05
, 5F102GC08
, 5F102GD04
, 5F102GJ02
, 5F102GJ03
, 5F102HC07
引用特許:
審査官引用 (4件)
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炭化けい素縦形FETおよびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-011601
出願人:富士電機株式会社
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整流ダイオ-ド
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-311193
出願人:新電元工業株式会社
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電力用半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-286998
出願人:株式会社東芝
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絶縁ゲート型半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-121640
出願人:トヨタ自動車株式会社
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引用文献:
審査官引用 (1件)
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Trench Power JFET with Integrated Junction Barrier Schottky Diode
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