特許
J-GLOBAL ID：201003003205411971

静電チャック

発明者：
米倉 寛

米倉 寛 について

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川合 治郎

川合 治郎 について

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小椋 和之

小椋 和之 について


出願人/特許権者：
新光電気工業株式会社

新光電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-124092
公開番号（公開出願番号）：特開2010-272730
出願日： 2009年05月22日
公開日（公表日）： 2010年12月02日
要約：
【課題】アルミニウムベースの上にセラミックスチャック部がねじ止めされて構成される静電チャックにおいて、高温になってもセラミックスチャック部にクラックが発生することが防止されて高い信頼性が得られる静電チャックを提供する。【解決手段】アルミニウムベース10と、アルミニウムベース10の上に配置され、基板5が載置されるセラミックスチャック部20と、アルミニウムベース10に設けられた開口部10aと、開口部10aに挿入され、ろう材32によってセラミックスチャック部20の下面に接合されて、銅から形成された止めねじ30と、止めねじ30に締め込まれて、アルミニウムベース10の下面を押し込むナット50とを含み、ヒータによって加熱されて使用される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
アルミニウムベースと、 前記アルミニウムベースの上に配置され、基板が載置されるセラミックスチャック部と、 前記アルミニウムベースに設けられた開口部と、 前記開口部に挿入され、ろう材によって前記セラミックスチャック部の下面に接合されて、銅から形成された止めねじと、 前記止めねじに締め込まれて、前記アルミニウムベースの下面を押し込むナットとを有し、 ヒータによって加熱されて使用されることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ,  H02N 13/00
FI (2件)：
H01L21/68 R ,  H02N13/00 D
Fターム (10件)：
5F031CA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16 ,  5F031HA18 ,  5F031HA33 ,  5F031HA37 ,  5F031HA39 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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