特許
J-GLOBAL ID：201003012781010000
走査型電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井上 学
, 戸田 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-045037
公開番号（公開出願番号）：特開2010-198998
出願日： 2009年02月27日
公開日（公表日）： 2010年09月09日
要約：
【課題】本発明の目的は、アライメント調整が容易に行え、また観察視野の見失いを防止することで、視野探しを容易にすることに適した走査型電子顕微鏡を提供することにある。【解決手段】本発明の課題を達成するために、本発明は、電子顕微鏡において、試料ステージ像を取得する撮像装置を備え、当該撮像装置で取得した試料ステージ像を用いて、試料ステージの位置及び移動距離及び/又は移動方向と、前記表示装置上での試料ステージの位置及び移動距離及び/又は移動方向との対応関係の情報を記憶する記憶装置と、当該対応関係の情報を用いて、走査電子顕微鏡で取得した試料像と、当該試料像を取得している試料ステージ上での位置情報を前記表示装置上に表示することを特徴とする走査電子顕微鏡を提供する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
電子源と、電子源から放出された一次電子線を試料上に集束する対物レンズと、試料を搭載する試料ステージと、前記一次電子線を試料上で走査する偏向器と、前記一次電子線の照射により試料から発生する信号電子を検出する検出器と、当該検出器で検出された信号電子に基づいて、試料像を生成する制御装置と、当該試料像を表示する表示装置と、
を備えた電子顕微鏡において、
試料ステージ像を取得する撮像装置を備え、
当該撮像装置で取得した試料ステージ像を用いて、試料ステージの位置及び移動距離及び/又は移動方向と、前記表示装置上での試料ステージの位置及び移動距離及び/又は移動方向との対応関係の情報を記憶する記憶装置と、
当該対応関係の情報を用いて、走査電子顕微鏡で取得した試料像と、当該試料像を取得している試料ステージ上での位置情報を前記表示装置上に表示することを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01J37/28 B
, H01J37/22 502C
, H01J37/22 502D
