電子透過膜及びその製造方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：古田剛啓 , 田村善光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-223054
公開番号（公開出願番号）：特開2010-061812
出願日： 2008年09月01日
公開日（公表日）： 2010年03月18日
要約：

【課題】大気中の生体試料を電子顕微鏡などで観察可能とする耐久性のある非晶質膜の電子透過膜であり、より低加速電圧で使用可能な電子透過膜を提供すること。【解決手段】電子顕微鏡などにおいて、電子を発生させる電子線源の設置された真空筐体から、大気中に定置した生体などの試料に対して、大気を透過せず電子を透過させるとともに、大気圧差に対する耐久性、人体への生体適合性を有する電子透過膜の実現化及び電子線源小型化などのための一層の低加速電圧化で使用可能な電子透過膜の実現化に対し、電子透過膜の材質として従来使用されている元素であるチタン、シリコンよりも軽元素であり、軽元素を含む材料の性質に着目し、軽元素としての炭素を含む材質からなる薄膜として、炭素を主成分とする非晶質の薄膜、好ましくはアモルファス炭素の薄膜にし、電子透過膜の形状を平板状又は凸形状にすれば課題解決できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電子を発生させる電子線源内設の真空筐体と大気雰囲気とを隔て気体を通過せず電子を透過させる電子透過窓を構成する電子透過膜であって、電子透過膜が非晶質の炭素を主成分とする薄膜であることを特徴とする電子透過膜。

IPC (5件)：

H01J 5/18 , H01J 33/04 , G21K 5/00 , G01N 23/04 , G01N 23/225

FI (5件)：

H01J5/18 , H01J33/04 , G21K5/00 W , G01N23/04 , G01N23/225

Fターム (7件)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001BA11 , 2G001CA03 , 2G001GA06 , 2G001SA01 , 2G001SA10

引用特許：

出願人引用 (1件)

単結晶の窓および整合アノードを備える電子ビーム装置
公報種別：公表公報出願番号：特願平8-521265 出願人：アメリカン・インターナショナル・テクノロジィズ・インコーポレイテッド

審査官引用 (7件)

特開平2-138900
特開昭62-157602
メンブレンマスク及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-263907 出願人：凸版印刷株式会社

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