特許

J-GLOBAL ID：201003017876741381

ポジティブ型感光性樹脂組成物

発明者： 鄭 斗 瑛 ,  鄭 知 英 ,  趙 顯 龍 ,  兪 龍 植 ,  鄭 閔 鞠 ,  李 種 和 ,  李 吉 成 ,  車 明 煥
出願人/特許権者： チェイル インダストリーズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 八田国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-240394
公開番号（公開出願番号）：特開2010-097220
出願日： 2009年10月19日
公開日（公表日）： 2010年04月30日
要約：

【課題】膜の機械的物性を向上させると同時に熱硬化時に膜収縮率が低く、高感度及び高解像度を有し、パターン形状が良好で、優れた残渣除去性を有するポジティブ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)特定構造の反復単位を有し、少なくとも一側の末端部に熱重合性官能基を有する第1ポリベンゾオキサゾール前駆体、(B)下記化学式3で表される反復単位を有する第2ポリベンゾオキサゾール前駆体、(C)感光性ジアゾキノン化合物、(D)シラン化合物、及び(E)溶媒を含むポジティブ型感光性樹脂組成物。(化学式3において、Y3は熱重合が可能な基であり、Y4は芳香族有機基又は脂環式有機基である。)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記化学式1で表される反復単位を有し、少なくとも一側の末端部に熱重合性官能基を有する第1ポリベンゾオキサゾール前駆体、 (B)下記化学式3で表される反復単位を有する第2ポリベンゾオキサゾール前駆体、 (C)感光性ジアゾキノン化合物、 (D)シラン化合物、及び (E)溶媒;を含むことを特徴とするポジティブ型感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/023 ,  G03F 7/004 ,  C08G 73/22

FI (3件)：

G03F7/023 ,  G03F7/004 501 ,  C08G73/22

Fターム (36件)：

2H125AE05P ,  2H125AE11P ,  2H125AF05P ,  2H125AM76P ,  2H125AM90P ,  2H125AN54P ,  2H125BA05P ,  2H125BA22P ,  2H125CA12 ,  2H125CC03 ,  2H125CC21 ,  2H125CD08P ,  2H125CD38 ,  4J043PA04 ,  4J043PA08 ,  4J043PB04 ,  4J043QB15 ,  4J043QB23 ,  4J043RA05 ,  4J043SA06 ,  4J043SB02 ,  4J043TA26 ,  4J043TB01 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA761 ,  4J043UB061 ,  4J043UB122 ,  4J043VA022 ,  4J043VA061 ,  4J043XA19 ,  4J043XA34 ,  4J043ZA31 ,  4J043ZA32 ,  4J043ZA34 ,  4J043ZB22

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-020714   出願人：富士フイルム株式会社
• 半導体装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-117391   出願人：住友ベークライト株式会社
• ポリアミド樹脂、該樹脂を用いた感光性樹脂組成物及び半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-127617   出願人：富士フイルム株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物、該ポジ型感光性樹脂組成物を用いた半導体装置及び表示素子、並びに半導体装置及び表示素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-019081   出願人：住友ベークライト株式会社