特許
J-GLOBAL ID：201003018776345850

浮上ユニット及びそれを備えた非接触支持装置

発明者：
伊藤 秀和

伊藤 秀和 について

, 
林本 茂

林本 茂 について


出願人/特許権者：
シーケーディ株式会社

シーケーディ株式会社 について


代理人 (1件)： 山田 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-224745
公開番号（公開出願番号）：特開2010-060013
出願日： 2008年09月02日
公開日（公表日）： 2010年03月18日
要約：
【課題】揺動自在とされた本体がその自重によって不用意に傾倒してワークを傷つけるおそれを大幅に低減すること。【解決手段】支持体30の球体部35は本体20の球面軸受け部28aに収容され、これにより本体20は揺動自在となって支持体30に支持されている。本体20内には球体部35と当接するOリング29と、そのOリング29によってシールされる閉空間K1とが設けられている。そして、その閉空間K1に加圧ポート41及び内圧調節用通路42を通じて加圧エアが供給されるようにした。支持体30が固定された状態であれば、加圧エアの供給によって閉空間K1の圧力を高めるとその内圧の高まりによって本体20が支持体30に対して押し上げられる。これにより、A部分での摩擦抵抗が高まって本体20の自重による傾倒が抑制される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
加圧気体を噴出する噴出面を有する本体が支持体によって支持されており、前記噴出面から噴出される加圧気体によりワークを非接触支持する浮上ユニットであって、 前記噴出面がワークの傾きに追従するように本体を揺動自在とする揺動機構と、 前記本体がその自重によって傾倒することを抑制する傾倒抑制機構と、 を備えていることを特徴とする浮上ユニット。
IPC (5件)：
F16C 32/06 ,  F16C 11/10 ,  F16C 11/06 ,  H01L 21/683 ,  F16C 23/04
FI (5件)：
F16C32/06 A ,  F16C11/10 F ,  F16C11/06 J ,  H01L21/68 N ,  F16C23/04 Z
Fターム (24件)：
3J012AB01 ,  3J012BB10 ,  3J012DB02 ,  3J012FB04 ,  3J102AA02 ,  3J102BA08 ,  3J102BA13 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102FA02 ,  3J102FA04 ,  3J102FA08 ,  3J102FA09 ,  3J102GA01 ,  3J105AA23 ,  3J105AB17 ,  3J105AB42 ,  3J105AC04 ,  3J105CF02 ,  3J105CF12 ,  3J105DA06 ,  5F031CA05 ,  5F031LA03 ,  5F031PA18
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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