特許

J-GLOBAL ID：201003023416996322

回転レートセンサ

発明者： イェルク ハウアー ,  ウド-マルティン ゴメス ,  ラインハルト ノイル ,  ケルステン ケーア ,  ヨハネス クラッセン ,  アクセル フランケ ,  マルコ クヴァンダー
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (5件)： 矢野 敏雄 ,  杉本 博司 ,  高橋 佳大 ,  二宮 浩康 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-522190
公開番号（公開出願番号）：特表2010-501829
出願日： 2007年06月06日
公開日（公表日）： 2010年01月21日
要約：

本発明は駆動系質量体要素(3,13)と、検出系質量体要素(8,14)と、検出装置とを有し、前記駆動系質量体要素(3,13)は基板の表面に配設され、駆動装置によって前記表面に沿って延在する第1の軸線(y)に沿って振動させるべく駆動可能であり、前記検出系質量体要素(8,14)は第2の軸線(z)に沿ってコリオリ力の作用のもとで偏倚可能であり、前記検出装置は、第2の軸線(z)に沿った検出系質量体要素(8,14)の変位が検出可能である、回転レートセンサに関している。本発明によれば、前記第2の軸線(z)が基板表面に対して垂直方向に延在する。

請求項（抜粋）：

駆動系質量体要素(3,13)と、 検出系質量体要素(8,14)と、 検出装置とを有し、 前記駆動系質量体要素(3,13)は基板の表面に配設され、駆動装置によって前記表面に沿って延在する第1の軸線(y)に沿って振動させるべく駆動可能であり、 前記検出系質量体要素(8,14)は第2の軸線(z)に沿ってコリオリ力の作用のもとで偏倚可能であり、 前記検出装置は、第2の軸線(z)に沿った検出系質量体要素(8,14)の変位が検出可能である、回転レートセンサにおいて、 前記第2の軸線(z)が基板表面に対して垂直方向に延在することを特徴とする方法。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84 Z

Fターム (12件)：

2F105BB01 ,  2F105CC01 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112FA20

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 回転レートセンサー
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-566607   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-194081   出願人：三菱電機株式会社
• 角速度センサとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-265221   出願人：株式会社デンソー
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-174581   出願人：アイシン精機株式会社