角速度センサとその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-265221
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097708
出願日： 1998年09月18日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】エアダンピングの影響を抑え、特に櫛歯構造による大気中での静電駆動で、かつ大振幅駆動が可能な角速度センサを提供する。【解決手段】四角枠部4に対し1次梁15,16にて1次振動子本体17,18が連結され、1次振動子本体17,18に対し2次梁35,36にて2次振動子本体37が連結されている。2次振動子本体37には加速度センサエレメント67が設置されている。2次振動子本体37は、1次振動子本体17,18からの振動伝達にて1次振動子本体17,18と同じ方向(X軸方向)に振動する。加速度センサエレメント67は2次振動子本体37が振動しているときにおいて角速度の印加に伴う振動方向に直交する方向(Y軸方向)のコリオリ力を櫛歯構造の静電容量の変化によって検出する。

請求項（抜粋）：

固定部(4)に対し1次梁(15,16)にて連結され、駆動力を付与することにより振動する1次振動子本体(17,18)と、前記1次振動子本体(17,18)に対し2次梁(35,36)にて連結され、前記1次振動子本体(17,18)からの振動伝達にて当該1次振動子本体(17,18)と同じ方向に振動する2次振動子本体(37)と、前記2次振動子本体(37)に設置され、2次振動子本体(37)が振動しているときにおいて角速度の印加に伴うコリオリ力を検出する加速度センサエレメント(67)と、を備えたことを特徴とする角速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84 Z

Fターム (12件)：

2F105BB20 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD13 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA24 , 4M112CA26 , 4M112CA36 , 4M112DA02 , 4M112EA02

引用特許：

審査官引用 (6件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-339789 出願人：日産自動車株式会社
共振型角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-334337 出願人：株式会社豊田中央研究所
回転角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-207355 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング

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