特許
J-GLOBAL ID：201003024459086776

物理量センサ及び物理量センサの製造方法

発明者：
国見 敬

国見 敬 について

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角田 貴弘

角田 貴弘 について

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松岡 俊文

松岡 俊文 について

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相澤 隆生

相澤 隆生 について


出願人/特許権者：
曙ブレーキ工業株式会社

曙ブレーキ工業株式会社 について

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独立行政法人石油天然ガス・金属鉱物資源機構

独立行政法人石油天然ガス・金属鉱物資源機構 について


代理人 (3件)： 川口 嘉之 ,  松倉 秀実 ,  遠山 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-012334
公開番号（公開出願番号）：特開2010-169535
出願日： 2009年01月22日
公開日（公表日）： 2010年08月05日
要約：
【課題】簡易な手順で、可動電極と固定電極との固着を抑制した上で、陽極接合を実現する。【解決手段】それぞれ貫通穴を有する一対の絶縁性基板と、梁部に片持支持され一対の絶縁性基板との間に隙間を有し梁部の弾性によって揺動可能である可動電極を含み、一対の絶縁性基板の内面に接合された、絶縁性基板よりも導電性が高い中央基板と、一対の絶縁性基板の外面に接合され絶縁性基板よりも導電性が高い外側基板と、一対の絶縁性基板のそれぞれの可動電極に対向する内面に形成された電極膜と電極膜から貫通穴を通って一対の絶縁性基板の外面の外側基板へ延伸する導電路とを含む金属層と、を備える物理量センサであって、外側基板は、貫通穴の幅より広い間隔で貫通穴を挟む位置に少なくとも絶縁性基板に達する深さで形成された複数の溝状の間隙と、間隙に挟まれ導電路に接触される第1帯状部と、間隙によって第1帯状部と絶縁された第2帯状部とを有する。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
それぞれ貫通穴を有する一対の絶縁性基板と、 前記一対の絶縁性基板に挟まれた内面空間で梁部に片持支持され前記一対の絶縁性基板との間に隙間を有し前記梁部の弾性によって揺動可能である可動電極を含み、前記一対の絶縁性基板の内面に接合された、前記絶縁性基板よりも導電性が高い中央基板と、 前記一対の絶縁性基板の外面に接合され前記絶縁性基板よりも導電性が高い外側基板と、 前記一対の絶縁性基板のそれぞれの前記可動電極に対向する内面に形成された電極膜と前記電極膜から前記貫通穴を通って前記一対の絶縁性基板の外面の前記外側基板へ延伸する導電路とを含む金属層と、を備え、 前記外側基板は、それぞれ、前記貫通穴の幅より広い間隔で前記貫通穴を挟む位置に少なくとも前記絶縁性基板に達する深さで形成された複数の溝状の間隙と、 前記間隙に挟まれ前記導電路に接触される第1帯状部と、 前記間隙によって前記第1帯状部と絶縁された第2帯状部と を有する物理量センサ。
IPC (1件)：
G01P 15/125
FI (1件)：
G01P15/125 Z
引用特許：
審査官引用 (4件)
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