基板表面の検査方法及び検査装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：井上学 , 戸田裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-263397
公開番号（公開出願番号）：特開2010-002406
出願日： 2008年10月10日
公開日（公表日）： 2010年01月07日
要約：

【課題】半導体基板などの基板の表面あれを高精度に検査する。【解決手段】基板表面に照明を照射し、散乱光や反射光を複数の方位、仰角で検出することで基板の表面あれを表面あれの周波数帯域ごとに計測する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板表面を検査する検査方法であって、前記基板表面に光を照射する第一の工程と、前記照射された光による前記基板表面からの散乱光又は反射光を複数の位置で検出し、複数の電気信号を得る第二の工程と、前記複数の電気信号各々について互いに異なる周波数帯域の信号を抽出する第三の工程と、前記抽出された各周波数帯域の複数の信号を演算処理し、前記基板表面の表面荒れに関する値を算出する第四の工程と、を有することを特徴とする検査方法。

IPC (1件)：

G01N 21/956

FI (1件)：

G01N21/956 A

Fターム (19件)：

2G051AA51 , 2G051AA71 , 2G051AB01 , 2G051AB07 , 2G051BA10 , 2G051BB01 , 2G051BB03 , 2G051BB07 , 2G051CA02 , 2G051CA03 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051CC07 , 2G051DA06 , 2G051DA08 , 2G051EA12 , 2G051EC03 , 2G051EC04

引用特許：

出願人引用 (1件)

欠陥検査方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-330113 出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (4件)

光学式表面粗さ計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-032423 出願人：住友大阪セメント株式会社
メタリック塗装表面評価方法および装置並びに評価基準標本
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-318517 出願人：株式会社ニコン
異物検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-367885 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社

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