特許
J-GLOBAL ID：201003031028400364
走査型荷電粒子顕微鏡装置及び走査型荷電粒子顕微鏡装置で取得した画像の処理方法
出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ
株式会社日立ハイテクノロジーズ について
代理人 (2件)： 井上 学 , 戸田 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-229216
公開番号（公開出願番号）：特開2010-062106
出願日： 2008年09月08日
公開日（公表日）： 2010年03月18日
要約：
【課題】 走査型荷電粒子顕微鏡及び走査型荷電粒子顕微鏡装置で取得した画像の処理方法において、最適な撮像条件は,試料の形状や材質等によって異なるため,特定の撮像条件を用いた1枚の画像撮像のみでは十分良好な画質が得られない場合がある。【解決手段】 異なる撮像条件下で試料を撮像して該試料の複数の画像を取得し,この取得した複数の画像についてそれぞれの画像の劣化関数を生成し、取得した複数の画像と生成したそれぞれの画像に対応する劣化関数とを用いて分解能を向上させた画像を生成し、この分解能を向上させた画像を処理するようにした。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
走査型荷電粒子顕微鏡装置を用いて試料を撮像して得た画像の分解能を向上させて処理する方法であって、
異なる撮像条件下で試料を撮像して該試料の複数の画像を取得する画像取得ステップと,
該画像取得ステップで取得した複数の画像についてそれぞれの画像の劣化関数を生成する劣化関数生成ステップと,
前記画像取得ステップで取得した複数の画像と前記劣化関数生成ステップで生成したそれぞれの画像に対応する前記劣化関数とを用いて分解能を向上させた画像を生成する分解能向上画像生成ステップと,
該分解能を向上させた画像を処理する画像処理ステップと
を有することを特徴とする走査型荷電粒子顕微鏡装置で取得した画像の処理方法。
IPC (3件)：
FI (3件)：
Fターム (6件)：
引用特許：
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