特許
J-GLOBAL ID：201003031140489084

形状可変ミラー

発明者：
羽根渕 昌明

羽根渕 昌明 について

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赤井 大輔

赤井 大輔 について

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石田 誠

石田 誠 について

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澤田 和明

澤田 和明 について


出願人/特許権者：
国立大学法人豊橋技術科学大学

国立大学法人豊橋技術科学大学 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-256896
公開番号（公開出願番号）：特開2010-085872
出願日： 2008年10月01日
公開日（公表日）： 2010年04月15日
要約：
【課題】 圧電薄膜方式の形状可変ミラーにおいて精度よく収差補正を行う。【解決手段】 形状可変ミラーは、内部可動枠と、内部可動枠の内側に形成される回動板と、第1のトーションバーを挟む形で形成された第1の圧電膜及び第1の電極と、第2のトーションバーを挟む形で形成された第2の圧電膜及び第2の電極と、を含み、第1の電極及び第2の電極に印加される電圧によって回動される回動板の回動角度が調整される圧電アクチュエータが複数配置された圧電アクチュエータアレイと、各圧電アクチュエータに設けられた前記回動板上に形成される柱部と、前記柱部によって下方より支持されるマイクロミラーと、を備え、各圧電アクチュエータに設けられた回動板の回動角度によって各マイクロミラーの反射面の角度が二次元的に調整されることによりミラー面全体の形状が変化されることを特徴とする。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
マイクロミラーが複数分離して配置され、各マイクロミラーがそれぞれ独立して駆動されることによりミラー面全体の形状を変化させる形状可変ミラーは、 基板上における固定部の内側に第1のトーションバーを介して形成される内部可動枠と、前記第1のトーションバーに対して直交する第2トーションバーを介して前記内部可動枠の内側に形成される回動板と、前記第1のトーションバーを挟む形で形成された第1の圧電膜及び該第1の圧電膜に電圧を印加する第1の電極と、前記第2のトーションバーを挟む形で形成された第2の圧電膜及び該第2の圧電膜に電圧を印加する第2の電極と、を含み、前記第1の電極及び前記第2の電極に印加される電圧によって前記第1及び第2トーションバーを回動軸として回動される前記回動板の回動角度が調整される圧電アクチュエータが複数配置された圧電アクチュエータアレイと、 該圧電アクチュエータアレイの各圧電アクチュエータに設けられた前記回動板上に形成される柱部と、 前記柱部によって下方より支持されるマイクロミラーであって、前記圧電アクチュエータの面積以上の大きさを持ち、隣り合う各マイクロミラー同士が近接して配置されるように前記柱部を介して圧電アクチュエータの上方に置かれるマイクロミラーと、を備え、 各圧電アクチュエータに設けられた回動板の回動角度によって各マイクロミラーの反射面の角度が二次元的に調整されることによりミラー面全体の形状が変化されることを特徴とする形状可変ミラー。
IPC (1件)：
G02B 26/08
FI (1件)：
G02B26/08 J
Fターム (18件)：
2H141MA11 ,  2H141MB23 ,  2H141MB27 ,  2H141MB63 ,  2H141MC09 ,  2H141MD13 ,  2H141MD16 ,  2H141MD20 ,  2H141MD24 ,  2H141MD31 ,  2H141MF11 ,  2H141MZ06 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ18 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ24 ,  2H141MZ25 ,  2H141MZ26
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (3件)

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