特許

J-GLOBAL ID：201003034069861332

ガスセンサ及びガス検出方法

発明者： 谷平 龍也 ,  新西 一哉 ,  吉岡 謙一 ,  西井 由菜
出願人/特許権者： フィガロ技研株式会社
代理人 (2件)： 塩入 明 ,  塩入 みか
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-067499
公開番号（公開出願番号）：特開2010-217139
出願日： 2009年03月19日
公開日（公表日）： 2010年09月30日
要約：

【課題】 電池駆動が可能で、水素と区別してメタンを選択的に検出でき、経時安定性の高いガスセンサを提供する。【構成】 シリコン基板に設けた空洞上へ突き出した 支持層上に、ヒータ層と電極層とを設けて、ガス検出用の金属酸化物半導体膜で被覆する。金属酸化物半導体膜は、酸化第2スズと、酸化第2スズ100重量部当たり1〜6重量部のPtとを含み、膜厚が5〜40μmの第1層と、酸化第2スズと、酸化第2スズ100重量部当たり1〜6重量部のPdとを含み、膜厚が15〜60μmで、前記第1層を被覆する第2層とからなり、第1層と第2層との膜厚の合計が20〜80μmである。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

シリコン基板に設けた空洞上へ前記基板側から突き出した支持層上に、ヒータ層と電極層とを設けて、前記電極層をガス検出用の金属酸化物半導体膜で被覆したガスセンサにおいて、 前記金属酸化物半導体膜が、 酸化第2スズと、酸化第2スズ100重量部当たり1〜6重量部のPtとを含み、前記電極層を設けた領域での膜厚が5〜40μmで、前記電極に接触する第1層と、 酸化第2スズと、金属換算で酸化第2スズ100重量部当たり1〜6重量部のPdとを含み、電極層を設けた領域での膜厚が15〜60μmで、前記第1層を被覆する第2層とからなり、 第1層と第2層との前記膜厚の合計が20〜80μmであることを特徴とする、ガスセンサ。

IPC (1件)：

G01N 27/12

FI (2件)：

G01N27/12 B ,  G01N27/12 C

Fターム (31件)：

2G046AA19 ,  2G046BA01 ,  2G046BA04 ,  2G046BA06 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BC05 ,  2G046BE03 ,  2G046BE08 ,  2G046DA05 ,  2G046DB04 ,  2G046DB05 ,  2G046DC14 ,  2G046DC16 ,  2G046DC17 ,  2G046DC18 ,  2G046DD01 ,  2G046DD03 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046EA09 ,  2G046EB01 ,  2G046FB02 ,  2G046FE03 ,  2G046FE16 ,  2G046FE22 ,  2G046FE29 ,  2G046FE34 ,  2G046FE39 ,  2G046FE46

引用特許：

審査官引用 (7件)

• 薄膜ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-370935   出願人：富士電機機器制御株式会社
• ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-096273   出願人：富士電機株式会社
• 薄膜ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-057190   出願人：富士電機機器制御株式会社, 大阪瓦斯株式会社
• ガス選択燃焼層用の印刷ペースト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-072125   出願人：富士電機機器制御株式会社, 大阪瓦斯株式会社
• パルス駆動型薄膜ガスセンサおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-161083   出願人：大阪瓦斯株式会社, 富士電機ホールディングス株式会社
• 特開平2-052247
  
• ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-166985   出願人：フィガロ技研株式会社