特許
J-GLOBAL ID：201003034307940726
複合型観察装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-266475
公開番号（公開出願番号）：特開2010-097768
出願日： 2008年10月15日
公開日（公表日）： 2010年04月30日
要約：
【課題】光学顕微鏡により観察した表示領域における任意の箇所を適切に走査型電子顕微鏡で観察することができる複合型観察装置を提供する。【解決手段】複合型観察装置10は、載置面20aを移動可能に保持する載置台機構14と、光学顕微鏡22と、その観察光軸15aと交差する走査軸16aを有する走査型電子顕微鏡16と、走査型電子顕微鏡16と光学顕微鏡22との中間の分解能を有し光学顕微鏡22の対物レンズ42を共用する計測光学系23と、全体を駆動制御する制御機構17と、表示画面25aを有する表示器25と、を備え、制御機構17は、表示画面25aに、光学観察画像30を表示させる際、計測光学系23の分解能で見た計測表示領域を示す記号33を重ねて表示させることができるとともに、計測観察画像31を表示させる際、走査型電子顕微鏡16の分解能で見た電子表示領域を示す記号34を重ねて表示させることができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
観察対象を載置する載置面をXY平面に沿って移動可能に保持する載置台機構と、
該載置台機構による前記載置面の移動領域内でZ方向の観察光軸を有する光学顕微鏡と、
前記載置面上で前記観察光軸と交差する走査軸を有する走査型電子顕微鏡と、
該走査型電子顕微鏡と前記光学顕微鏡との中間の分解能を有し前記光学顕微鏡の対物レンズを共用する計測光学系と、
該計測光学系、前記走査型電子顕微鏡および前記光学顕微鏡により取得された前記観察対象の観察データから観察画像を生成するとともに前記載置台機構による前記載置面の移動を制御する制御機構と、
該制御機構の制御により前記観察画像が表示される表示画面を有する表示器と、を備え、
前記制御機構は、前記表示画面に、前記光学顕微鏡による光学観察画像を表示させる際、前記計測光学系の分解能で見た計測表示領域を示す記号を重ねて表示させることができるとともに、前記計測光学系による計測観察画像を表示させる際、前記走査型電子顕微鏡の分解能で見た電子表示領域を示す記号を重ねて表示させることができることを特徴とする複合型観察装置。
IPC (3件)：
H01J 37/22
, H01J 37/28
, H01J 37/20
H01J37/22 502A
, H01J37/28 B
, H01J37/22 502L
, H01J37/20 D
5C001AA03
, 5C001CC04
, 5C033UU10
出願人引用 (9件)
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走査型電子顕微鏡装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-214292
出願人：株式会社トプコン
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走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-152487
出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
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特開昭61-096644
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審査官引用 (8件)
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