特許
J-GLOBAL ID：201003034869468868
エッジ検出装置、切削装置およびエッジ検出プログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-168659
公開番号（公開出願番号）：特開2010-010445
出願日： 2008年06月27日
公開日（公表日）： 2010年01月14日
要約：
【課題】レーザグルービングされたウエーハにおけるカーフエッジの検出を自動で高精度に行えるようにする。【解決手段】撮像手段4で撮像された画像に対するエッジ認識処理によりグルービングエッジラインまたはカーフエッジラインとしての候補ラインを抽出する候補ライン抽出手段51と、抽出された各候補ラインの性質を元画像の情報に基づき判定し、該判定結果によって複数の候補ラインをグルービングエッジライン、カーフエッジライン、カーフエッジラインおよびグルービングエッジラインの組をなす組合せ候補ラインに場合分けする組合せ候補ライン設定手段52と、場合分けされた組合せ候補ライン中からレーザグルービング部分とカーフ部分との物理的な特性の違いを判定要素として元画像の情報に基づき尤もらしい一つの組合せ候補ラインを決定し候補ライン中からカーフエッジラインを特定するライン決定手段53と、を備える。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
複数のチップを区画する分割予定ラインに沿って予めレーザグルービングされたウエーハにおいて、該レーザグルービング部分に沿って切削ブレードで切削された後の前記分割予定ラインを、前記切削ブレードにより形成されたカーフ部分が白く周囲の前記レーザグルービング部分が黒くなるように光量設定して撮像手段で撮像された画像に基づき前記切削ブレードによるカーフエッジを検出するエッジ検出装置であって、
前記撮像手段で撮像された画像に対するエッジ認識処理によりレーザグルービング部分のグルービングエッジラインまたは前記カーフエッジラインとしての候補ラインを抽出する候補ライン抽出手段と、
抽出された前記各候補ラインの性質を前記撮像手段で撮像された画像の情報に基づき判定し、該判定結果によって複数の前記候補ラインをグルービングエッジライン、カーフエッジライン、カーフエッジラインおよびグルービングエッジラインの組をなす組合せ候補ラインに場合分けする組合せ候補ライン設定手段と、
場合分けされた前記組合せ候補ライン中から前記レーザグルービング部分と前記カーフ部分との物理的な特性の違いを判定要素として前記撮像手段で撮像された画像の情報に基づき尤もらしい一つの組合せ候補ラインを決定し前記候補ライン中から前記カーフエッジラインを特定するライン決定手段と、
を備えることを特徴とするエッジ検出装置。
IPC (1件)：
FI (4件)：
H01L21/78 C
, H01L21/78 L
, H01L21/78 B
, H01L21/78 F
