特許
J-GLOBAL ID：201003043651195702

リン拡散用塗布液

発明者：
松岡 敏文

松岡 敏文 について

, 
小原田 明信

小原田 明信 について


出願人/特許権者：
日本酢ビ・ポバール株式会社

日本酢ビ・ポバール株式会社 について


代理人 (1件)： 岩谷 龍
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-226509
公開番号（公開出願番号）：特開2010-062334
出願日： 2008年09月03日
公開日（公表日）： 2010年03月18日
要約：
【課題】リンを拡散させた半導体デバイスの抵抗値にバラツキを発生させず、高濃度にリンを拡散させることができ、さらにはナトリウムによる半導体デバイスの汚染を回避することが出来る、比較的安価なリン拡散用塗布液を提供する。【解決手段】(a)リン化合物、(b)ナトリウム含有量が10ppm以下のポリビニルアルコール系樹脂及び(c)水を含有することを特徴とするリン拡散用塗布液。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(a)リン化合物、(b)ナトリウム含有量が10ppm以下のポリビニルアルコール系樹脂、及び(c)水を含有することを特徴とするリン拡散用塗布液。
IPC (1件)：
H01L 21/225
FI (1件)：
H01L21/225 R
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (8件)
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