特許
J-GLOBAL ID：201003045067368444
薄膜検査装置及びその方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
藤田 考晴
, 上田 邦生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-047361
公開番号（公開出願番号）：特開2010-203814
出願日： 2009年02月27日
公開日（公表日）： 2010年09月16日
要約：
【課題】複数の薄膜が積層された状態で各薄膜の膜厚を計測すること。【解決手段】薄膜検査装置は、第1透明薄膜及び第2透明薄膜の少なくとも一方の膜厚変動に影響を受ける分光反射スペクトルの特徴量の中から少なくとも2つの特徴量を選択し、選択した該特徴量の各々と第1透明薄膜の膜厚及び第2透明薄膜の膜厚とをそれぞれ関連付けた少なくとも2つの特徴量特性が格納された記憶部14と、被検査基板Sに対して透明ガラス基板側から白色光を照射する光照射部11と、被検査基板Sからの反射光を受光する受光部12と、受光された反射光に基づく分光反射スペクトルから記憶部14に格納されている各特徴量の実測値を求め、求めた各特徴量の実測値と記憶部14に格納されている特徴量特性とを用いて、第1透明薄膜及び第2透明薄膜の膜厚をそれぞれ求める演算部15とを備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
透明ガラス基板上に反射率調整用の第1透明薄膜及び第2透明薄膜、並びに透明導電膜がこの順で製膜された被検査基板において、該第1透明薄膜及び該第2透明薄膜の膜厚を求める薄膜検査装置であって、
前記第1透明薄膜及び前記第2透明薄膜の少なくとも一方の膜厚変動に影響を受ける分光反射スペクトルの特徴量の中から少なくとも2つの特徴量を選択し、選択した該特徴量の各々と前記第1透明薄膜の膜厚及び前記第2透明薄膜の膜厚とをそれぞれ関連付けた少なくとも2つの特徴量特性が格納された記憶手段と、
前記被検査基板に対して前記透明ガラス基板側から白色光を照射する光照射手段と、
前記被検査基板からの反射光を受光する受光手段と、
前記受光手段によって受光された反射光に基づく分光反射スペクトルから前記記憶手段に格納されている各前記特徴量の実測値を求め、求めた各前記特徴量の実測値と前記記憶手段に格納されている前記特徴量特性とを用いて、前記第1透明薄膜及び前記第2透明薄膜の膜厚をそれぞれ求める演算手段と
を備える薄膜検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (22件)：
2F065AA30
, 2F065BB01
, 2F065BB17
, 2F065BB22
, 2F065CC17
, 2F065CC31
, 2F065FF01
, 2F065GG02
, 2F065GG23
, 2F065HH12
, 2F065JJ05
, 2F065JJ17
, 2F065JJ18
, 2F065LL00
, 2F065LL03
, 2F065NN06
, 2F065QQ18
, 2F065QQ29
, 2F065QQ42
, 2F065RR05
, 2F065SS03
, 2F065SS13
