特許
J-GLOBAL ID：201003046601523970
LFプラズマジェット生成方法とLFプラズマジェット生成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有賀 正光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-080683
公開番号（公開出願番号）：特開2010-232109
出願日： 2009年03月28日
公開日（公表日）： 2010年10月14日
要約：
【課題】LFプラズマジェット生成方法において、ヘリウムガスより電離電圧の高いガス(アルゴンガス)をより低い電圧でプラズマを発生してプラズマジェットを生成すること。【解決手段】ヘリウム(He)ガスとアルゴン(Ar)ガスを混合してガス供給管41へ供給し、電源44から所定周波数の電圧を電極43に印加してプラズマを発生し、プラズマジェット45を生成する。その後ヘリウムガスの供給を停止してアルゴンガスのプラズマジェット45の発生を持続する。ヘリウムガスのプラズマは、アルゴンガスを放電させてプラズマを発生するときの点火手段として使用する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ガス供給管の外周に放電電場を発生する電極を設けたLFプラズマジェット生成装置において、ヘリウムガスとヘリウムガスより電離電圧の高いガスを混合してガス供給管へ供給し、電極に所定周波数の電圧を印加して両ガスのプラズマを発生し、その後ヘリウムガスの供給を停止することを特徴とするLFプラズマジェット生成方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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