特許
J-GLOBAL ID：201003047618385682

シート貼付装置及び貼付方法

発明者：
戒能 さやか

戒能 さやか について

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佐伯 尚哉

佐伯 尚哉 について

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篠田 智則

篠田 智則 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-240853
公開番号（公開出願番号）：特開2010-073954
出願日： 2008年09月19日
公開日（公表日）： 2010年04月02日
要約：
【課題】構造や工程の簡略化を図ることができるようにすること。【解決手段】リングフレームRFを支持するテーブル11と、このテーブル11に支持されたリングフレームRFに両面粘着テープATを貼付する第1の貼付手段13と、リングフレームRFに貼付された両面粘着テープATからカバーシートCSを剥離する剥離手段15と、両面粘着テープATに接着シートSを貼付する第2の貼付手段16とを備えてシート貼付装置10が構成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
リングフレームを支持する支持手段と、この支持手段に支持されたリングフレームに両面粘着テープを貼付する第1の貼付手段と、前記両面粘着テープに接着シートを貼付する第2の貼付手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 N
Fターム (7件)：
5F031CA02 ,  5F031DA13 ,  5F031DA15 ,  5F031HA13 ,  5F031HA78 ,  5F031MA37 ,  5F031MA38
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (6件)
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