ウエハ加工用シート

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：鈴木俊一郎 , 牧村浩次 , 高畑ちより , 鈴木亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-239394
公開番号（公開出願番号）：特開2008-066336
出願日： 2006年09月04日
公開日（公表日）： 2008年03月21日
要約：

【課題】タックが少ない、粘着力が低いダイ固定用接着剤層を用いた場合であっても、ダイシング工程においては、両面粘着シートとダイボンドシートとの界面にウキ・ハガレが見られず、ダイボンド工程においては、チップのピックアップ時のエキスパンドの際にリングフレームからの脱落が起こらないとともに、所要の工程後にはリングフレームに糊残りせずに剥離できるようなウエハ加工用シートを提供すること。【解決手段】本発明のウエハ加工用シートは、特定のダイボンドシートと特定の両面粘着シートとが接着してなるウエハ加工用シートであって、該両面粘着シートがリング形状をなしリングフレームに固定可能な大きさを有し、リングフレーム固定用粘着剤層とリングフレームとの接着力がダイ固定用接着剤層と積層用粘着剤層との接着力よりも小さいことを特徴とする。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基材フィルムと、該基材フィルムから剥離可能に積層されており、接着力が0.5N/25mm以下であるダイ固定用接着剤層とからなるダイボンドシートと、芯材フィルムと、その片面に形成される積層用粘着剤層と、他方の面に形成されるリングフレーム固定用粘着剤層とからなる両面粘着シートとが、該ダイ固定用接着剤層と該積層用粘着剤層とで接着してなるウエハ加工用シートであって、前記両面粘着シートがリング形状をなし、リングフレームに固定可能な大きさを有し、前記リングフレーム固定用粘着剤層と前記リングフレームとの接着力が、前記ダイ固定用接着剤層と前記積層用粘着剤層との接着力よりも小さいことを特徴とするウエハ加工用シート。

IPC (3件)：

H01L 21/301 , H01L 21/52 , C09J 7/02

FI (3件)：

H01L21/78 M , H01L21/52 E , C09J7/02 Z

Fターム (12件)：

4J004AB01 , 4J004CA04 , 4J004CB03 , 4J004CC02 , 4J004CC03 , 4J004CC07 , 4J004EA05 , 4J004EA06 , 4J004FA04 , 4J004FA08 , 5F047BB03 , 5F047BB19

引用特許：

出願人引用 (1件)

特許第3521099号公報

審査官引用 (6件)

ダイシング用リングフレームへの接着剤の付着防止方法、該方法に用いられる粘着シートおよび該粘着シートを備えたウェハ加工用シート
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-274077 出願人：リンテック株式会社
ウェハ加工用テープおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-346542 出願人：古河電気工業株式会社
粘着シートを具備するウェハー保持部材,及び粘着シートの剥離方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-357600 出願人：株式会社ディスコ

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