特許
J-GLOBAL ID：201003048069415058
ポンプ・プローブ型の測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
亀井 岳行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-052199
公開番号（公開出願番号）：特開2010-204023
出願日： 2009年03月05日
公開日（公表日）： 2010年09月16日
要約：
【課題】ポンプ・プローブ型の測定装置を小型化すること。【解決手段】 平面状の支持面(23a)を有するベース部材(23)と、パルスレーザー光(L)を試料(S)を励起するポンプ光(L2)と励起された試料(S)の状態を探査するプローブ光(L1)とに分岐させる光分岐光学素子(32)と、支持面(23a)から離れる方向に延びる枠体(68+118)と、光(L1)の光学特性を変化させるプローブ光用特性変化光学素子(63)と、光(L2)の光学特性を変化させるポンプ光用特性変化光学素子(113)と、を有する光学系群装置(41+91)を備えたポンプ・プローブ型の測定装置(21)。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
平面状の支持面を有するベース部材と、
前記支持面に沿った光路を通過するパルスレーザー光を照射するパルスレーザー光源装置と、
前記ベース部材に支持され、且つ、前記パルスレーザー光源装置からのパルスレーザー光を、試料を励起するポンプ光と、励起された試料の状態を探査するプローブ光とに分岐させる光分岐光学素子と、
前記ベース部材に支持され且つ前記支持面から離れる方向に延びる枠体と、光分岐光学素子で分岐されたポンプ光およびプローブ光のいずれか一方の光を前記支持面から離れる方向に反射する離間方向反射光学系と、前記離間方向反射光学系よりも前記支持面から離れた位置で前記枠体に支持され且つ前記支持面から離れる方向に進む光を前記支持面に近づく方向に反射する接近方向反射光学系と、前記接近方向反射光学系よりも前記支持面に接近した位置に配置され且つ前記支持面に接近した光を前記支持面に沿った方向に反射させる沿面方向反射光学系と、通過する前記光を予め設定された光学特性に変化させる特性変化光学素子と、を有し、前記ベース部材の支持面に支持された光学系群装置と、
前記光学系群装置から出力された前記ポンプ光およびプローブ光のいずれか一方と、前記ポンプ光およびプローブ光のいずれか他方と、を試料に対して照射する照射光学系と、
前記試料からの光を検出する検出器と、
を備えたことを特徴とするポンプ・プローブ型の測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (17件)：
2G059BB08
, 2G059CC01
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059FF03
, 2G059GG01
, 2G059GG08
, 2G059GG10
, 2G059HH01
, 2G059HH03
, 2G059JJ02
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059JJ19
, 2G059JJ24
, 2G059KK01
, 2G059KK04
