特許
J-GLOBAL ID：201003055173757765
基板ブレーク装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-020447
公開番号（公開出願番号）：特開2010-173251
出願日： 2009年01月30日
公開日（公表日）： 2010年08月12日
要約：
【課題】ブレーク対象の脆性材料基板が薄板であり、小さいピッチでブレークする場合であっても、ブレーク位置の位置決めを精度良く行うことができる基板ブレーク装置を提供する。【解決手段】脆性材料基板1の形状に対応した方形状の開口部7が形成されている基板支持板2と、基板支持板2の上面に開口部7を覆う弾性フィルム4と、弾性フィルム4の上方にて上下方向に移動することができるように配設された、スクライブライン11に沿ってブレークする上ブレークバー6a、6bと、弾性フィルム4の下方にて上下方向に移動することができるように配設された、スクライブライン11に沿ってブレークする下ブレークバー5とを備える。下ブレークバー5をスクライブライン11が形成されている側と反対側にスクライブライン11に沿って圧着させ、下ブレークバー5と第1の上ブレークバー6aで脆性材料基板1を挟んだ状態で上ブレークバー6bにてブレークする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
スクライブラインが表面に形成されている脆性材料基板を前記スクライブラインに沿ってブレークする基板ブレーク装置において、
前記脆性材料基板の形状に対応した方形状の開口部が形成されている基板支持板と、
該基板支持板の上面に前記開口部を覆って搭載され、前記脆性材料基板を固定する弾性フィルムと、
該弾性フィルムの上方にて上下方向に移動することができるように配設された、前記スクライブラインに沿ってブレークする第1の上ブレークバー及び第2の上ブレークバーと、
前記弾性フィルムの下方にて上下方向に移動することができるように配設された、前記スクライブラインに沿ってブレークする下ブレークバーと
を備え、
前記下ブレークバーを前記スクライブラインが形成されている側と反対側に前記スクライブラインに沿って圧着させ、前記下ブレークバーと前記第1の上ブレークバーとで前記脆性材料基板を挟んだ状態で前記第2の上ブレークバーにてブレークするようにしてあることを特徴とする基板ブレーク装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
3C069AA02
, 3C069BB01
, 3C069BB02
, 3C069BC03
, 3C069CA03
, 3C069CA11
, 3C069EA02
