特許
J-GLOBAL ID:201003058052727620

透明導電膜用焼結体の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-101959
公開番号(公開出願番号):特開2010-248049
出願日: 2009年04月20日
公開日(公表日): 2010年11月04日
要約:
【課題】水分または有機成分を含有した大型の成形体を電磁波加熱による透明導電膜用焼結体の製造方法において焼成割れを防止し、高密度な品質の安定した製品を容易に製造可能な方法を提供する。【解決手段】水分と有機成分を総量で0.3〜2.0重量%含有した最小厚みが5mm以上でかつ、体積が50cm3以上である成形体と、この成形体に接触しないよう、上下及び/又は側面にSiC質材料を設置し、当該SiC質材料の温度によりマイクロ波加熱炉内の温度制御を行う、電磁波加熱によって当該成形体を焼結する方法であって、室温から400°Cまでの温度域を100〜300°C/時間の昇温速度で加熱することで、焼成割れが低減され、円筒形状であれば真円度が高い焼結体、平板形状であれば反りの少ない焼結体を歩留まり良く製造することができる。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
水分と有機成分を総量で0.3〜2.0重量%含有した最小厚みが5mm以上でかつ、体積が50cm3以上である成形体と、この成形体に接触しないよう、上下及び/又は側面にSiC質材料を設置し、当該SiC質材料の温度により電磁波加熱炉内の温度制御を行う、電磁波加熱によって当該成形体を焼結する方法であって、室温から400°Cまでの温度域を100〜300°C/時間の昇温速度で加熱することを特徴とする透明導電膜用焼結体の製造方法。
IPC (4件):
C04B 35/64 ,  C04B 35/00 ,  C04B 35/453 ,  C23C 14/34
FI (4件):
C04B35/64 F ,  C04B35/00 J ,  C04B35/00 P ,  C23C14/34 A
Fターム (11件):
4G030AA32 ,  4G030AA34 ,  4G030AA36 ,  4G030AA39 ,  4G030BA02 ,  4G030GA23 ,  4K029BA45 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09
引用特許:
審査官引用 (5件)
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