特許
J-GLOBAL ID：201003059064079639

酸化物中空粒子、その製造方法及び酸化物中空粒子製造装置

発明者：
飯塚 哲

飯塚 哲 について


出願人/特許権者：
国立大学法人東北大学

国立大学法人東北大学 について


代理人 (6件)： 重信 和男 ,  水野 昭宣 ,  清水 英雄 ,  高木 祐一 ,  中野 佳直 ,  秋庭 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-293788
公開番号（公開出願番号）：特開2010-120786
出願日： 2008年11月17日
公開日（公表日）： 2010年06月03日
要約：
【課題】サブマイクロオーダーやナノサイズを有している無機酸化物中空粒子、特には、球形金属酸化物単結晶中空サブマイクロ粒子や球形金属酸化物単結晶中空ナノ粒子を、簡単な方法で合成し且つ回収する方法を提供する。【解決手段】真空容器中に、金属酸化物源である金属の第一電極と放電空間を囲む絶縁板、そして、該絶縁板の外面に第二電極を備え、且つ、該真空容器中への気体導入部を備えているスパッタリング装置において、前記第一電極と前記第二電極間に変動電圧を与え、前記気体導入部より酸素を0.1%以上含む気体を導入して、プラズマ中で、第一電極のスパッタリング及び飛散第一電極金属原子と酸素との酸化反応を同一放電空間で行うことにより球形金属酸化物単結晶中空粒子を生成せしめる。放電プラズマやガス流を制御することによって均質な粒径分布や空洞径/粒径の比の制御が可能になる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
平均直径が10nm〜1μmの中空球状の粒子であり、単結晶金属酸化物から構成された粒子であることを特徴とする球形金属酸化物単結晶中空粒子。
IPC (4件)：
C30B 29/16 ,  C01B 13/14 ,  C30B 29/66 ,  C30B 30/02
FI (4件)：
C30B29/16 ,  C01B13/14 Z ,  C30B29/66 ,  C30B30/02
Fターム (20件)：
4G042DB05 ,  4G042DB16 ,  4G042DB29 ,  4G042DB35 ,  4G042DD03 ,  4G042DD13 ,  4G042DE03 ,  4G042DE14 ,  4G077AA01 ,  4G077AB09 ,  4G077BB01 ,  4G077BB02 ,  4G077BB04 ,  4G077BB07 ,  4G077DA17 ,  4G077EA07 ,  4G077EJ01 ,  4G077HA20 ,  4G077SB01 ,  4G077UA01
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (7件)
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引用文献：
審査官引用 (4件)
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