特許
J-GLOBAL ID:201003059174690678
透明体検査装置および透明体検査方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
岩壁 冬樹
, 塩川 誠人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-259976
公開番号(公開出願番号):特開2010-151802
出願日: 2009年11月13日
公開日(公表日): 2010年07月08日
要約:
【課題】検査対象となる透明体の内部に欠陥が存在する場合に、その欠陥がどのくらい深い位置に存在しているかを特定できる透明体検査装置を提供する。【解決手段】撮影駆動手段3は、撮影手段2を透明体17に近づく方向および透明体から遠ざかる方向に移動させる。撮影手段2は、透明体17に近づく方向または透明体17から遠ざかる方向に移動している間に複数回撮影を行う。欠陥判定手段12は、撮影手段2が撮影した画像中の画素の輝度が不均一である場合、その画像を撮影した時の被写界深度内に欠陥があると判定する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
透明体に対して光を照射する光照射手段と、
透明体を撮影する撮影手段であって被写界深度が透明体の高さより浅い撮影手段と、
撮影手段を透明体に近づく方向および透明体から遠ざかる方向に移動させる撮影駆動手段と、
撮影手段が撮影した画像中の画素の輝度が不均一であるか否かにより透明体の欠陥の有無を判定する欠陥判定手段とを備え、
撮影手段は、透明体に近づく方向または透明体から遠ざかる方向に移動している間に複数回撮影を行い、
欠陥判定手段は、撮影手段が撮影した画像中の画素の輝度が不均一である場合、当該画像を撮影した時の被写界深度内に欠陥があると判定する
ことを特徴とする透明体検査装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (12件):
2G051AA42
, 2G051AA84
, 2G051AB06
, 2G051BA01
, 2G051BA11
, 2G051BB01
, 2G051BB07
, 2G051CA04
, 2G051CA06
, 2G051CB05
, 2G051CC07
, 2G051EA17
引用特許: