特許
J-GLOBAL ID：200903020674178936
光透過性を有する多層平板状被検査体の欠陥検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
飯沼 義彦
, 浜田 修司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-321342
公開番号（公開出願番号）：特開2006-133042
出願日： 2004年11月04日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：
【課題】多層平板状被検査体の各層別の明るさに関するデータの分布を求めることにより、異物等の欠陥の存在する層を特定する。【解決手段】平面視において欠陥の位置が確認されている被検査体2の同欠陥を含む被測定部位に光を照射し、被検査体2に対向したCCDカメラ6を被検査体2に接近させながら、CCDカメラ6によって、前記被測定部位の各層の鉛直方向の画像データを連続的に取込み、この画像データに基づいて同被測定部位の各層の鉛直方向の明るさに関するデータの分布を求め、前記各層の明るさに関するデータの分布と、予め求められている基準検査体の被検査体2の被測定部位に対応する部位の各層の鉛直方向の明るさに関するデータの分布とを比較し、欠陥が存在する被検査体2の層を特定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光透過性を有する多層平板状被検査体の被測定部位に光を照射して、
同多層平板状被検査体に対向して設けられた撮影手段により、前記被測定部位の各層についての直角方向の画像データを連続的に取込んでから、
前記の連続的に取り込まれた画像データに基づいて前記被測定部位の各層についての直角方向の明るさに関するデータの分布を求め、
ついで前記各層についての直角方向の明るさに関するデータの分布と、予め求められている無欠陥の多層平板状基準検査体の前記被測定部位に対応した部位における各層についての直角方向の明るさに関するデータの分布とを比較することにより、前記多層平板状被検査体の被測定部位における欠陥の有無を特定することを特徴とする、光透過性を有する多層平板状被検査体の欠陥検出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
2G051AA42
, 2G051AA90
, 2G051AB06
, 2G051AC21
, 2G051BB01
, 2G051CA04
, 2G051CA06
, 2G051CB05
, 2G051CD02
, 2G051DA05
, 2G051EA11
, 2G051EA14
, 2G051EA16
, 2G051EB09
, 2G051EC01
, 2G086EE10
出願人引用 (2件)
審査官引用 (7件)
全件表示
前のページに戻る
