特許
J-GLOBAL ID:200903052203639037
透明体インゴットの異物検出装置およびこれを用いた透明体の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
波多野 久 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-371001
公開番号(公開出願番号):特開2000-193598
出願日: 1998年12月25日
公開日(公表日): 2000年07月14日
要約:
【要約】【課題】効率よく異物の検出が行える透明体インゴットの異物検出装置およびこれを用いた生産性の高い透明体の製造方法を提供する。【解決手段】複数枚の透明体fに切断される透明体インゴットIgに検査光を照射する検査光発生手段2と、透明体インゴットIgを撮像する撮像手段3と、この撮像手段3により撮像される透明体インゴットIgの撮像位置および検査光により照射される透明体インゴットIgの照射位置を移動させる移動手段4と、撮像手段3により撮像された透明体インゴットIgに存在する異物mの異物画像信号を受け、この異物画像信号を異物情報にする画像処理手段5と、この画像処理手段5で求めた異物情報を出力する出力手段6と、検査光発生手段2、撮像手段3、移動手段4および画像処理手段5を制御する制御手段7とを有する透明体インゴットの異物検出装置。
請求項(抜粋):
複数枚の透明体に切断される透明体インゴットに検査光を照射する検査光発生手段と、透明体インゴットを撮像する撮像手段と、この撮像手段により撮像される透明体インゴットの撮像位置を移動させる移動手段と、前記撮像手段により撮像された透明体インゴットに存在する異物の異物画像信号を受け、この異物画像信号を異物情報にする画像処理手段と、この画像処理手段で求めた異物情報を出力する出力手段と、前記検査光発生手段、撮像手段、移動手段および画像処理手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする透明体インゴットの異物検出装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N 21/88 650
, B28D 1/10
Fターム (12件):
2G051AA56
, 2G051AA61
, 2G051AB06
, 2G051AC04
, 2G051BA10
, 2G051CB02
, 2G051DA07
, 2G051EA12
, 3C069AA01
, 3C069CA04
, 3C069CB05
, 3C069EA01
引用特許:
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