特許
J-GLOBAL ID:201003060535920418

ナノ粒子の粒径測定装置及びナノ粒子の粒径測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 宮園 純一 ,  宮園 靖夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-093541
公開番号(公開出願番号):特開2010-243374
出願日: 2009年04月08日
公開日(公表日): 2010年10月28日
要約:
【課題】簡単な構成で、ナノ粒子の粒径を精度よく測定することのできるナノ粒子の粒径測定装置とナノ粒子の粒径測定方法を提供する。【解決手段】粒径が100nm以下のナノ粒子21を媒体22中に分散させた試料23が収納された測定用セル20に光源11からレーザー光を照射し、ナノ粒子21からの散乱光のうち散乱角がθである散乱光Bを検出器13で検出する際に、レーザー光の波長をλ=355nmとし、かつ、検出器13を測定用セル20から5cmの位置に配置して検出感度を大幅に向上させるとともに、測定用セル20と検出器13との間に二重スリット14を設けて、散乱角がθの散乱光Bのみを検出するようにした。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ナノ粒子を媒体中に分散させた試料にレーザー光を照射する光源と、前記光源と前記試料との間に設置された回折格子と、前記ナノ粒子からの散乱光の強度を検出する検出器と、この検出された散乱光の強度の経時変化から前記ナノ粒子の粒径を測定する粒径測定手段とを備えたナノ粒子の粒径測定装置であって、 前記レーザー光の波長が紫外線領域にあり、 前記試料と前記検出器との間隔が2cm〜10cmの範囲にあることを特徴とするナノ粒子の粒径測定装置。
IPC (1件):
G01N 15/02
FI (1件):
G01N15/02 C
引用特許:
審査官引用 (7件)
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引用文献:
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