特許
J-GLOBAL ID：201003061836356298
集積型薄膜太陽電池及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
グローバル・アイピー東京特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-121047
公開番号（公開出願番号）：特開2010-278441
出願日： 2010年05月26日
公開日（公表日）： 2010年12月09日
要約：
【課題】セルの無効面積を減少させ、基板の反転及び洗浄を必要とせず、基板を大気中に露出させない製造方法を提供する。【解決手段】集積型薄膜太陽電池の製造方法は、所定間隔離隔されたトレンチが形成された基板を準備するステップと、前記トレンチのそれぞれの底面の一部及び一側面に、第1導電性物質で第1電極層を形成するステップと、前記第1電極層が形成されていないトレンチの一部分及び前記第1電極層上に太陽電池層を形成するステップと、前記太陽電池層上に第2導電性物質を斜めに蒸着し第2電極層を形成するステップと、前記第1電極層が露出されるように、前記トレンチに形成された太陽電池層をエッチングするステップと、前記露出された第1電極層と前記第2電極層とが、電気的に接続されるように、第3導電性物質を前記第2電極層上に斜めに蒸着し導電層を形成するステップと、を含む。【選択図】図2d
請求項（抜粋）：
所定間隔で離隔されたトレンチが形成された基板を準備するステップと、
前記トレンチのそれぞれの底面の一部及び一側面に、第1導電性物質で第1電極層を形成するステップと、
前記第1電極層が形成されていないトレンチの一部分及び前記第1電極層上に太陽電池層を形成するステップと、
第2導電性物質を斜めに放出して、前記太陽電池層上に前記第2導電性物質を蒸着して第2電極層を形成するステップと、
前記第1電極層が露出されるように、前記トレンチに形成された太陽電池層をエッチングするステップと、
前記露出された第1電極層と前記第2電極層とが、電気的に接続されるように、第3導電性物質を斜めに放出して、前記第3導電性物質を前記第2電極層上に斜めに蒸着して導電層を形成するステップと、
を含む集積型薄膜太陽電池の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
5F151AA05
, 5F151CA22
, 5F151CA31
, 5F151GA20
