反射型投影光学装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：篠原泰司 , 藤中雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-152742
公開番号（公開出願番号）：特開2010-079257
出願日： 2009年06月26日
公開日（公表日）： 2010年04月08日
要約：

【課題】結像倍率を従来装置に比べて著しく向上できる、全て反射鏡で構成した高倍率な反射型投影光学装置を提供する。【解決手段】試料面に向けられた凹面鏡M2と該凹面鏡に対向して配置された凸面鏡M1とを組み合わせてなる対物光学系に、結像倍率を増大させるための付加光学系M3,M4を結合して構成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料面に向けられた凹面鏡と該凹面鏡に対向して配置された凸面鏡とを組み合わせてなる対物光学系に、結像倍率を増大させるための付加光学系を結合してなる反射型投影光学装置。

IPC (2件)：

G02B 17/06 , G02B 27/18

FI (2件)：

G02B17/06 , G02B27/18 Z

Fターム (5件)：

2H087KA06 , 2H087TA02 , 2H087TA04 , 2H087TA05 , 2H087TA06

引用特許：

審査官引用 (6件)

投影光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-086418 出願人：国立大学法人東北大学
X線顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-219306 出願人：オリンパス光学工業株式会社
ひとみオブスキュレーションを伴う対物鏡
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-521424 出願人：カール・ツアイス・エスエムテイ・アーゲー

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