特許
J-GLOBAL ID：201003063696441381

X線分析装置

発明者：
前田 大和

前田 大和 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-190214
公開番号（公開出願番号）：特開2010-025868
出願日： 2008年07月23日
公開日（公表日）： 2010年02月04日
要約：
【課題】ハードウエアの追加を伴わない簡単な構成で、X線照射の絞りを変更するためのX線遮蔽板の位置ずれを検知する。【解決手段】設定されているものと異なる絞り孔4a〜4dの選択が指示されると、制御部10は現在の絞り孔に応じた数のパルス信号をパルスモータに送ってX線遮蔽板4をホームポジションP2に戻し、その後、センサ13により原点位置P1に来たことが検出されるまでパルス信号を計数しつつパルスモータを駆動する。その計数値と規定数との差が許容値以下であるか否かを判定し、許容値を超えている場合、ホームポジションが適切でなく元のX線遮蔽板4の位置が異常であると判断して表示部12にエラー表示を行う。また、絞り孔の変更がない場合でも規定回数毎に同様の異常検知を実行することで、絞り孔の位置がずれた状態で取得された可能性のある信頼性のないデータの棄却を可能とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
励起線源から出射された励起線を試料に照射し、それにより試料から放出されるX線を検出器に導入するX線分析装置であって、励起線源と試料との間に配置された励起線の照射領域を制限する領域制限部、又は試料と検出器との間に配置された視野領域を制限するための領域制限部のいずれかを具備するX線分析装置において、 a)前記領域制限部としての、大きさの相違する複数の絞り孔が設けられた遮蔽板と、 b)前記絞り孔を選択的に前記励起線又はX線の光軸上に移動させるべく前記遮蔽板を移動させるための、パルスモータを含む駆動機構と、 c)前記遮蔽板が第1の位置に来たことを検知する位置検知手段と、 d)前記絞り孔の変更に伴い、変更前の絞り孔に応じた数のパルスを前記パルスモータに与えて前記遮蔽板を第2の位置に戻した後に、さらに前記位置検知手段による検知信号が得られるまでパルスを前記パルスモータに与えることで前記遮蔽板を移動させる移動制御手段と、 e)前記移動制御手段による移動制御の際に、前記遮蔽板が第2の位置から第1の位置に来るまでのパルス数を計数し、その計数値を利用して、絞り孔の変更直前の遮蔽板の位置が異常であることを検知する異常検知手段と、 を備えることを特徴とするX線分析装置。
IPC (3件)：
G01N 23/223 ,  G21K 1/02 ,  G21K 1/04
FI (3件)：
G01N23/223 ,  G21K1/02 R ,  G21K1/04 Z
Fターム (21件)：
2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001EA03 ,  2G001FA01 ,  2G001FA06 ,  2G001GA01 ,  2G001GA03 ,  2G001GA04 ,  2G001GA05 ,  2G001GA07 ,  2G001HA10 ,  2G001JA04 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001KA01 ,  2G001KA20 ,  2G001PA02 ,  2G001SA01 ,  2G001SA04
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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