特許
J-GLOBAL ID:201003063877944369
紫外線硬化型再剥離性粘着剤組成物及びこれを用いた粘着シート
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
田村 良介
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-261055
公開番号(公開出願番号):特開2010-090249
出願日: 2008年10月07日
公開日(公表日): 2010年04月22日
要約:
【課題】 ウエハなどの集積回路形成に有用な成膜性のある紫外線硬化型粘着剤として、ダイシングテープに有用な硬化前後における粘着膜の強度の低減が好ましい範囲で、保持力が高く、硬化膜を剥離した際に、ウエハ表面に糊残りのない硬化膜を与える紫外線硬化型再剥離性粘着剤を提供する。【解決手段】 本発明は、(a)アクリル系粘着性ポリマー、(b)多官能エポキシアクリレート、(c)光重合開始剤、(d)水酸基、カルボキシル基又はエポキシ基に対して反応性を有する硬化剤からなる紫外線硬化型再剥離性粘着剤に関する。また、本発明は、前記紫外線硬化型再剥離性粘着剤組成物を用いた粘着シートに関する。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(a)アクリル系粘着性ポリマー、(b)多官能エポキシアクリレート、(c)光重合開始剤、(d)水酸基、カルボキシル基又はエポキシ基に対して反応性を有する硬化剤からなり、(b)多官能エポキシアクリレートが式(1):
IPC (6件):
C09J 133/08
, C09J 4/02
, C09J 11/06
, C09J 7/00
, H01L 21/301
, C08G 18/40
FI (6件):
C09J133/08
, C09J4/02
, C09J11/06
, C09J7/00
, H01L21/78 M
, C08G18/40
Fターム (55件):
4J004AA10
, 4J004AB01
, 4J004BA02
, 4J004EA05
, 4J004FA04
, 4J004FA08
, 4J034BA07
, 4J034DA01
, 4J034DB03
, 4J034DP01
, 4J034DP02
, 4J034DP03
, 4J034DP13
, 4J034DP17
, 4J034DP20
, 4J034GA54
, 4J034GA65
, 4J034GA66
, 4J034GA67
, 4J034GA72
, 4J034HA01
, 4J034HA07
, 4J034HA08
, 4J034HB07
, 4J034HC12
, 4J034HC13
, 4J034HC17
, 4J034HC22
, 4J034HC46
, 4J034HC52
, 4J034HC61
, 4J034HC64
, 4J034HC65
, 4J034HC67
, 4J034HC71
, 4J034HC73
, 4J034JA21
, 4J034JA22
, 4J034QA05
, 4J034QB03
, 4J034RA08
, 4J040DF001
, 4J040FA261
, 4J040GA20
, 4J040JA09
, 4J040JB08
, 4J040KA13
, 4J040LA01
, 4J040LA02
, 4J040LA06
, 4J040MA02
, 4J040MA10
, 4J040NA20
, 4J040PA32
, 4J040PA42
引用特許: