特許

J-GLOBAL ID：201003064741093949

ファセットミラー及び投影露光装置の製造方法

発明者： ベルント ヴァルム ,  ジークフリード レノン ,  ウド ディンガー ,  ユルゲン バイエル ,  シュテファン ブルカルト ,  クリストス コールクリス ,  ヒン イゥ アントニイ チュン ,  シュテファン ヴィーズナー ,  ハルトムット エンキッシュ ,  ギュンター デンゲル
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー
代理人 (3件)： 杉村 憲司 ,  澤田 達也 ,  下地 健一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-549381
公開番号（公開出願番号）：特表2010-519725
出願日： 2008年02月18日
公開日（公表日）： 2010年06月03日
要約：

本発明は、ミラー、特に、ファセットミラーの製造方法と、本発明に係るミラーを備える投影露光装置の製造方法とに関する。

請求項（抜粋）：

運搬素子上に配置されたミラーファセット(110)を有するファセットミラーを有する投影露光装置であって、前記ミラーファセット(110)は、2mm未満、特に、0.2mm〜1.2mmの範囲の厚みを有することを特徴とする、EUV投影露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G02B 5/08

FI (5件)：

H01L21/30 531A ,  H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521 ,  G02B5/08 A ,  H01L21/30 517

Fターム (14件)：

2H042DA01 ,  2H042DA08 ,  2H042DA12 ,  2H042DB02 ,  2H042DC02 ,  2H042DC09 ,  2H042DE04 ,  5F046BA03 ,  5F046CB03 ,  5F046CB22 ,  5F046DA01 ,  5F046GA03 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 多数の鏡面を有する面鏡
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-566598   出願人：カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー
• 多光源形成反射鏡の製造方法及び該反射鏡を用いた光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-268756   出願人：株式会社ニコン
• 複数の光学素子を基体に連結する方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-181684   出願人：カール-ツァイス-スティフトゥングトレイディングアズカールツァイス
• 無機接着剤及びそれを用いた半導体装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-022260   出願人：株式会社東芝
• スランピング硝子形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-205870   出願人：三上登, 三上淳子
• 傾斜調節ミラー
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-542376   出願人：カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー