基材をコーティングするためのプロセスおよび金属合金真空蒸着装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：川口義雄 , 小野誠 , 渡邉千尋 , 金山賢教 , 大崎勝真 , 坪倉道明
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-554057
公開番号（公開出願番号）：特表2010-522272
出願日： 2008年03月19日
公開日（公表日）： 2010年07月01日
要約：

本発明は、所定および一定の相対割合の金属元素を含有する前もって音速まで加速された蒸気により、基材(S)に吹き付けるための蒸気ジェットコーティング装置(7)を備える真空蒸着装置(1)を用いて、少なくとも2種の金属元素を含む金属合金の層を上記基材(S)上に連続的に蒸着させることによって、基材(S)をコーティングするためのプロセスに関する。プロセスは特に、Zn-Mgコーティングを蒸着させることを対象とする。本発明はまた、上記プロセスを実施するための連続金属合金真空蒸着装置(1)にも関する。

請求項（抜粋）：

基材(S)をコーティングするためのプロセスであって、少なくとも2種の金属元素を含む金属合金層が、一定および所定の相対含有量の前記少なくとも2種の金属元素を含有する蒸気を用いて、基材(S)に吹き付けるための蒸気ジェットコータ(7、17)を備える真空蒸着装置(1、11、21)によって音速で前記基材(S)上に連続的に蒸着され、前記蒸気が、所定の初期含有量の前記金属元素を含有する金属合金浴を蒸発させることによって得られ、浴の前記初期含有量が蒸着中一定に保たれる、プロセス。

IPC (1件)：

C23C 14/14

FI (1件)：

C23C14/14 Z

Fターム (8件)：

4K029AA02 , 4K029AA25 , 4K029BA21 , 4K029CA01 , 4K029DB04 , 4K029DB12 , 4K029DB15 , 4K029KA01

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平2-097663
特開平2-073960
真空蒸着装置及び真空蒸着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-075586 出願人：三菱重工業株式会社

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